中古 Aera マスフローコントローラー（MFC） FC-780C
本体価格(税別、送料別)30,000円
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- メーカー
- Aera
- 型式
- FC-780C
- 機種
- マスフローコントローラー（MFC）
- 仕様
- ガス:He 流量:100SCCM
- 管理番号
- Z230331112
- 引渡・支払
- 現状有姿/出荷前銀行振込(公的機関は後払い可)
仕様(この商品の仕様欄・銘板から)
| ガス種 | He |
|---|---|
| 流量(フルスケール) | 100 SCCM |
FC-780C の参考仕様
型式の一般的な値を、AIがメーカー資料などから調べたものです。この個体を測った値ではありません。
| コネクタ接続 | CASE GND／COMMON／OUTPUT 0〜5VDC／+15VDC／(OUTPUT 0〜2.5mA)／VALVE TEST PT.／CONTROL 0〜5VDC／COMMON(VALVE RTN.)／VALVE OPEN・CLOSE／-15VDC／(ALARM OUT H・L)／(ALARM OFF) |
|---|---|
| 外形寸法 | 124(L)×32(W)×122(H) mm |
| フルスケールレンジ(N2換算) | 10SCCM〜5SLM |
| バルブ形式 | ノーマリクローズ |
| 外部シール材 | Metal(メタル) |
| 応答性(フルスケールの±2%まで) | 1秒以内 |
| 精度(フルスケール) | ±1%以下(20SLM超〜50SLMは±2%以下) |
| 直線性(フルスケール) | ±0.5%以下(20SLM超〜50SLMは±1%以下) |
| 繰り返し性(フルスケール) | ±0.2%以下 |
| 外部リークレート | 1×10⁻¹⁰atm·cc/sec(He)以下〈1×10⁻¹¹Pa·m³/sec(He)以下〉 |
| 流量制御範囲(フルスケール) | 2〜100% |
| 動作差圧 | 0.3〜3.0kgf/cm²(d)〈29〜294kPa(d)〉 |
| 最大動作圧力 | 5kgf/cm²(g)〈490kPa(g)〉 |
| 耐圧力 | 10kgf/cm²(g)〈981kPa(g)〉 |
| 使用可能周囲温度 | 5〜45 ℃ |
出典: メーカー資料
Aera FC-780C の装置概要 AIによる記述です
本装置は、優れた応答性と高い信頼性を備えたアナログ式のマスフローコントローラー（MFC）です。エラストマーシールを採用しており、半導体製造プロセス、各種真空装置、研究開発分野における精密な気体流量制御に広く採用されています。
本個体は、ヘリウム（He）ガス用に調整されており、最大制御流量（フルスケール）は100 SCCMに設定されています。±1.0% F.S.の測定精度と、2秒以下という迅速な応答性により、安定した微小流量制御を実現します。インターフェースにはアナログ制御（0〜5 VDC）を採用しているため、既存のシステムへのリプレイスや簡易的な流量制御系への組み込みに最適です。
※AIによる参考情報です。実際の仕様・付属品・状態は個体により異なります。ご不明な点はお問い合わせください。
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