中古 Tylan マスフローコントローラー（MFC） FC-780C
本体価格(税別、送料別)30,000円
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- メーカー
- Tylan
- 型式
- FC-780C
- 機種
- マスフローコントローラー（MFC）
- 仕様
- ガスSiH4 流量300SCCM
W150 D40 H180 - 管理番号
- Z21080347
- 引渡・支払
- 現状有姿/出荷前銀行振込(公的機関は後払い可)
仕様(この商品の仕様欄・銘板から)
| ガス種 | SiH4 |
|---|---|
| 流量(フルスケール) | 300 SCCM |
| 外形寸法 | W150 D40 H180 mm |
FC-780C の参考仕様
型式の一般的な値を、AIがメーカー資料などから調べたものです。この個体を測った値ではありません。
| コネクタ接続 | CASE GND／COMMON／OUTPUT 0〜5VDC／+15VDC／(OUTPUT 0〜2.5mA)／VALVE TEST PT.／CONTROL 0〜5VDC／COMMON(VALVE RTN.)／VALVE OPEN・CLOSE／-15VDC／(ALARM OUT H・L)／(ALARM OFF) |
|---|---|
| フルスケールレンジ(N2換算) | 10SCCM〜5SLM |
| バルブ形式 | ノーマリクローズ |
| 外部シール材 | Metal(メタル) |
| 応答性(フルスケールの±2%まで) | 1秒以内 |
| 精度(フルスケール) | ±1%以下(20SLM超〜50SLMは±2%以下) |
| 直線性(フルスケール) | ±0.5%以下(20SLM超〜50SLMは±1%以下) |
| 繰り返し性(フルスケール) | ±0.2%以下 |
| 外部リークレート | 1×10⁻¹⁰atm·cc/sec(He)以下〈1×10⁻¹¹Pa·m³/sec(He)以下〉 |
| 流量制御範囲(フルスケール) | 2〜100% |
| 動作差圧 | 0.3〜3.0kgf/cm²(d)〈29〜294kPa(d)〉 |
| 最大動作圧力 | 5kgf/cm²(g)〈490kPa(g)〉 |
| 耐圧力 | 10kgf/cm²(g)〈981kPa(g)〉 |
| 使用可能周囲温度 | 5〜45 ℃ |
出典: メーカー資料
Tylan FC-780C の装置概要 AIによる記述です
本装置は、半導体製造プロセスや薄膜形成装置などで広く利用されている熱式マスフローコントローラーです。ガスの質量流量を直接計測・制御する方式を採用しており、温度や圧力の変動に影響を受けにくい極めて安定したガス供給を実現します。本個体は、半導体プロセスで重要な役割を果たすシラン（SiH4）ガス専用に調整されており、最大流量300 SCCMまでの微小流量域を精密に制御します。制御信号および出力信号には標準的なアナログ（0〜5 VDC）方式を採用しているため、既存のシステムや各種アナログ制御盤への組み込みが容易です。確かな実績を持つ堅牢な構造により、特殊高圧ガス使用下においても信頼性の高いプロセス管理をサポートします。
※AIによる参考情報です。実際の仕様・付属品・状態は個体により異なります。ご不明な点はお問い合わせください。
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