中古 Tylan マスフローコントローラー（MFC） FC-780C

本マスフローコントローラーは、熱式センサーを用いたアナログ式のガス流量制御装置です。対象ガスはアルゴン（Ar）、制御流量は最大200SCCM（Standard Cubic Centimeters per Minute）に調整されています。サーマルセンサー、バイパス、電磁式コントロールバルブ、および駆動・制御回路を一体化した構造を持ち、半導体製造プロセス、薄膜形成、スパッタリング、CVDなどの各種真空・ガス導入ラインにおいて、高精度な気流制御を担う標準的なデバイスです。ガスの質量流量を直接測定するため、外部の温度や圧力変動の影響を受けにくく、安定したガス供給を実現します。駆動電源には±15V DC、流量設定および出力信号には0〜5V DCのアナログ信号を使用するため、既存のアナログ制御システムや各種PLC回路への統合が容易です。