中古 Tylan マスフローコントローラー（MFC） FC-780C
本体価格(税別、送料別)30,000円
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- メーカー
- Tylan
- 型式
- FC-780C
- 機種
- マスフローコントローラー（MFC）
- 仕様
- ガスSF6 流量50SCCM
W135 D32 H123 - 管理番号
- Z21080349
- 引渡・支払
- 現状有姿/出荷前銀行振込(公的機関は後払い可)
仕様(この商品の仕様欄・銘板から)
| ガス種 | SF6 |
|---|---|
| 流量(フルスケール) | 50 SCCM |
| 外形寸法 | W135 D32 H123 mm |
FC-780C の参考仕様
型式の一般的な値を、AIがメーカー資料などから調べたものです。この個体を測った値ではありません。
| コネクタ接続 | CASE GND／COMMON／OUTPUT 0〜5VDC／+15VDC／(OUTPUT 0〜2.5mA)／VALVE TEST PT.／CONTROL 0〜5VDC／COMMON(VALVE RTN.)／VALVE OPEN・CLOSE／-15VDC／(ALARM OUT H・L)／(ALARM OFF) |
|---|---|
| フルスケールレンジ(N2換算) | 10SCCM〜5SLM |
| バルブ形式 | ノーマリクローズ |
| 外部シール材 | Metal(メタル) |
| 応答性(フルスケールの±2%まで) | 1秒以内 |
| 精度(フルスケール) | ±1%以下(20SLM超〜50SLMは±2%以下) |
| 直線性(フルスケール) | ±0.5%以下(20SLM超〜50SLMは±1%以下) |
| 繰り返し性(フルスケール) | ±0.2%以下 |
| 外部リークレート | 1×10⁻¹⁰atm·cc/sec(He)以下〈1×10⁻¹¹Pa·m³/sec(He)以下〉 |
| 流量制御範囲(フルスケール) | 2〜100% |
| 動作差圧 | 0.3〜3.0kgf/cm²(d)〈29〜294kPa(d)〉 |
| 最大動作圧力 | 5kgf/cm²(g)〈490kPa(g)〉 |
| 耐圧力 | 10kgf/cm²(g)〈981kPa(g)〉 |
| 使用可能周囲温度 | 5〜45 ℃ |
※上記の精度や応答時間などの仕様値は、メーカー公表のシリーズ標準スペックに基づく参考値となります。実機機嫌や接続環境により異なる場合があります。
出典: メーカー資料
Tylan FC-780C の装置概要 AIによる記述です
本装置は、半導体製造や各種真空成膜プロセスにおいて高い実績を持つ、アナログ制御方式の熱式マスフローコントローラーです。内部に組み込まれた熱式質量流量センサーと電磁式コントロールバルブにより、導入ガスの温度や一次側圧力の変動に左右されることなく、常に安定した質量流量の測定および制御を行います。
本個体は、対象ガスとして半導体エッチング等で多用されるSF6（六フッ化硫黄）にキャリブレーションされており、最大流量は50 SCCMに調整されています。外部からの0〜5 VDCの流量設定信号（入力）に応じてバルブを高速に駆動し、同等レンジの流量出力信号（出力）によりリアルタイムな流量確認が可能です。プロセスの安定性と再現性を重視した設計が特徴です。
※AIによる参考情報です。実際の仕様・付属品・状態は個体により異なります。ご不明な点はお問い合わせください。
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