中古機 マスフローコントローラー（MFC） Aera製、型式FC-780Cのご紹介

【AIによる装置概要】
本装置は、半導体製造や精密化学プロセスなどの高精度なガス流量制御が求められる環境で使用される、メタルシールタイプのアナログマスフローコントローラーです。SF6（六フッ化硫黄）ガス用に、最大流量10 SCCMでキャリブレーション（調整）されています。

メタルシール構造を採用しているため、エラストマーシールに比べて外部へのガス漏洩（リーク）が極めて少なく、反応性の高いガスに対しても高い耐久性と気密性を発揮します。また、有機物の放出（アウトガス）を最小限に抑えることができるため、超高真空システムやクリーン度が重視されるプロセスに適しています。

制御方式は実績のあるアナログ方式であり、外部からの0〜5 VDC信号による流量制御および流量出力に対応しています。既存のアナログ制御システムへ容易に組み込むことが可能です。

【AIによる参考仕様】
* **対応ガス：** SF6（六フッ化硫黄）
* **最大流量（フルスケール）：** 10 SCCM
* **シール材質：** メタルシール
* **バルブ動作：** ノーマリークローズ（N.C. / 常時閉）
* **流量制御範囲：** 2% 〜 100% F.S.
* **指示精度：** ±1.0% F.S.
* **再現性：** ±0.2% F.S.
* **応答速度：** 2秒以下
* **動作差圧範囲：** 約100 kPa 〜 300 kPa
* **耐圧：** 最大 1.0 MPa
* **外部リーク量：** 1×10⁻¹¹ Pa・m³/sec He 以下
* **電気コネクタ：** D-sub 9ピン（または15ピン）
* **制御信号（入力/出力）：** 0 〜 5 VDC
* **駆動電源：** DC ±15V（±5%）
* **外形寸法：** W125 mm × D30 mm × H135 mm（継手含む）
* **継手規格：** 1/4インチ VCRオス相当