中古機 マスフローコントローラー（MFC） Tylan製、型式FC-781Cのご紹介

【AIによる装置概要】
本装置は、半導体製造プロセスや各種産業分野において、気体の質量流量を高精度に計測・制御する熱式マスフローコントローラーです。窒素（N2）ガス用にキャリブレーションが施されており、最大50 SLM（Standard Liter per Minute）の流量制御に対応します。アナログ制御方式を採用しており、外部からの0〜5 VDCの制御信号に応じて内蔵の電磁式バルブ（通常閉：ノーマリークローズ）を駆動させ、設定された流量を安定して維持します。実流量の出力信号（0〜5 VDC）によるリアルタイムなモニターも可能です。外形寸法は幅150mm、奥行40mm、高さ155mmとコンパクトであり、既存の配管システムやガスパネルへの統合・リプレイスに適しています。長年にわたり製造ラインで採用されてきた実績を持ち、安定したガス供給管理を支える信頼性の高い流量制御デバイスです。

【AIによる参考仕様】
・制御対象ガス：N2（窒素）
・フルスケール流量：50 SLM
・流量制御方式：熱式質量流量制御、アナログ制御
・バルブ動作：ノーマリークローズ（N.C. / 無通電時閉）
・電源仕様：±15 VDC
・入力／出力信号：0〜5 VDC
・本体外形寸法：W150 mm × D40 mm × H155 mm（継手突起部含む）
・シール材質：エラストマー（Viton等）