中古 Tylan マスフローコントローラー（MFC） FC-781C
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- メーカー
- Tylan
- 型式
- FC-781C
- 機種
- マスフローコントローラー（MFC）
- 仕様
- ガスO2 流量20SLM
W150 D40 H155 - 管理番号
- Z21080353
- 引渡・支払
- 現状有姿/出荷前銀行振込(公的機関は後払い可)
仕様(この商品の仕様欄・銘板から)
| ガス種 | O2 |
|---|---|
| 流量(フルスケール) | 20 SLM |
| 外形寸法 | W150 D40 H155 mm |
FC-781C の参考仕様
型式の一般的な値を、AIがメーカー資料などから調べたものです。この個体を測った値ではありません。
| コネクタ接続 | CASE GND／COMMON／OUTPUT 0〜5VDC／+15VDC／(OUTPUT 0〜2.5mA)／VALVE TEST PT.／CONTROL 0〜5VDC／COMMON(VALVE RTN.)／VALVE OPEN・CLOSE／-15VDC／(ALARM OUT H・L)／(ALARM OFF) |
|---|---|
| フルスケールレンジ(N2換算) | 6〜50SLM |
| バルブ形式 | ノーマリクローズ |
| 外部シール材 | Metal(メタル) |
| 応答性(フルスケールの±2%まで) | 1秒以内 |
| 精度(フルスケール) | ±1%以下(20SLM超〜50SLMは±2%以下) |
| 直線性(フルスケール) | ±0.5%以下(20SLM超〜50SLMは±1%以下) |
| 繰り返し性(フルスケール) | ±0.2%以下 |
| 外部リークレート | 1×10⁻¹⁰atm·cc/sec(He)以下〈1×10⁻¹¹Pa·m³/sec(He)以下〉 |
| 流量制御範囲(フルスケール) | 2〜100% |
| 動作差圧 | 0.7〜3.0kgf/cm²(d)〈69〜294kPa(d)〉(20SLM超では1.0〜3.0kgf/cm²(d)) |
| 最大動作圧力 | 5kgf/cm²(g)〈490kPa(g)〉 |
| 耐圧力 | 10kgf/cm²(g)〈981kPa(g)〉 |
| 使用可能周囲温度 | 5〜45 ℃ |
※性能値は社内保管の取扱説明書「MASS FLOW CONTROLLER FC-770/780 Series(日本アエラ)」の仕様表から転記した型式一般の値。
※オプションで電流モードと異常検知機能がある(FC-770A系は異常検知機能が標準装備)。
※校正ガス以外で使うときは換算係数(コンバージョンファクタ)が必要。
出典: メーカー資料
Tylan FC-781C の装置概要 AIによる記述です
ガスの流量を質量流量として測定し、外部からの設定信号に合わせて内蔵バルブで一定に保つマスフローコントローラーです。半導体製造装置や成膜装置、研究用のガス供給系などで使われます。流量は0〜5VDCの電圧で出力し、設定値も0〜5VDCの制御信号で与えます。電源は+15VDCと-15VDCを使い、バルブを強制的に開閉する端子も備えます。
フルスケールレンジはN2換算で6〜50SLM、流量制御範囲はフルスケールの2〜100%です。精度はフルスケールの±1%以下(20SLM超〜50SLMは±2%以下)、繰り返し性は±0.2%以下で、フルスケールの±2%までの応答は1秒以内とされています。バルブはノーマリクローズ、外部シール材はメタルで、外部リークレートは1×10⁻¹⁰atm·cc/sec(He)以下です。動作差圧は0.7〜3.0kgf/cm²(d)(20SLM超では1.0〜3.0kgf/cm²(d))、最大動作圧力は5kgf/cm²(g)、使用可能周囲温度は5〜45 ℃です。
校正ガス以外で使う場合は換算係数が必要です。電流出力と異常検知機能はオプションです。
※AIによる参考情報です。実際の仕様・付属品・状態は個体により異なります。ご不明な点はお問い合わせください。
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