中古 Tylan マスフローコントローラー（MFC） FC-781C
本体価格(税別、送料別)30,000円
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- メーカー
- Tylan
- 型式
- FC-781C
- 機種
- マスフローコントローラー（MFC）
- 仕様
- ガス:H2 流量:10SLM
- 管理番号
- Z230331115
- 引渡・支払
- 現状有姿/出荷前銀行振込(公的機関は後払い可)
仕様(この商品の仕様欄・銘板から)
| ガス種 | H2 |
|---|---|
| 流量(フルスケール) | 10 SLM |
FC-781C の参考仕様
型式の一般的な値を、AIがメーカー資料などから調べたものです。この個体を測った値ではありません。
| コネクタ接続 | CASE GND／COMMON／OUTPUT 0〜5VDC／+15VDC／(OUTPUT 0〜2.5mA)／VALVE TEST PT.／CONTROL 0〜5VDC／COMMON(VALVE RTN.)／VALVE OPEN・CLOSE／-15VDC／(ALARM OUT H・L)／(ALARM OFF) |
|---|---|
| 外形寸法 | 151(L)×38(W)×153(H) mm |
| フルスケールレンジ(N2換算) | 6〜50SLM |
| バルブ形式 | ノーマリクローズ |
| 外部シール材 | Metal(メタル) |
| 応答性(フルスケールの±2%まで) | 1秒以内 |
| 精度(フルスケール) | ±1%以下(20SLM超〜50SLMは±2%以下) |
| 直線性(フルスケール) | ±0.5%以下(20SLM超〜50SLMは±1%以下) |
| 繰り返し性(フルスケール) | ±0.2%以下 |
| 外部リークレート | 1×10⁻¹⁰atm·cc/sec(He)以下〈1×10⁻¹¹Pa·m³/sec(He)以下〉 |
| 流量制御範囲(フルスケール) | 2〜100% |
| 動作差圧 | 0.7〜3.0kgf/cm²(d)〈69〜294kPa(d)〉(20SLM超では1.0〜3.0kgf/cm²(d)) |
| 最大動作圧力 | 5kgf/cm²(g)〈490kPa(g)〉 |
| 耐圧力 | 10kgf/cm²(g)〈981kPa(g)〉 |
| 使用可能周囲温度 | 5〜45 ℃ |
出典: メーカー資料
Tylan FC-781C の装置概要 AIによる記述です
半導体製造ラインや各種研究開発用ガス供給システムで長年にわたり実績を持つ、アナログ制御方式の熱式マスフローコントローラーです。信頼性の高い熱式センサーと高精度な電磁弁（制御バルブ）を搭載し、導入されたガスの質量流量を高い再現性で測定・制御します。
本器は水素（H2）ガス用として調整されており、最大流量10SLM（標準状態における毎分10リットル）の精密な流量制御に対応します。シール部には気密性とガス放出特性に優れたメタルシールを採用しており、高純度ガスや可燃性ガスである水素の取り扱いに適しています。インターフェースには±15VDC電源および0〜5VDCのアナログ入出力信号を採用しており、既存の各種制御システムやアナログ流量設定器への組み込み、リプレイスに最適です。
※AIによる参考情報です。実際の仕様・付属品・状態は個体により異なります。ご不明な点はお問い合わせください。
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