中古 Aera マスフローコントローラー（MFC） FC-781C
本体価格(税別、送料別)30,000円
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- メーカー
- Aera
- 型式
- FC-781C
- 機種
- マスフローコントローラー（MFC）
- 仕様
- ガスN2 流量20SLM
W160 D37 H130 - 管理番号
- Z21080229
- 引渡・支払
- 現状有姿/出荷前銀行振込(公的機関は後払い可)
仕様(この商品の仕様欄・銘板から)
| ガス種 | N2 |
|---|---|
| 流量(フルスケール) | 20 SLM |
| 外形寸法 | W160 D37 H130 mm |
FC-781C の参考仕様
型式の一般的な値を、AIがメーカー資料などから調べたものです。この個体を測った値ではありません。
| フルスケールレンジ(N2換算) | 6〜50SLM |
|---|---|
| バルブ | 常閉(ノーマリクローズ) |
| 精度 | フルスケールの±1%以下(20SLM超〜50SLMは±2%以下) |
| 直線性 | フルスケールの±0.5%以下(20SLM超〜50SLMは±1%以下) |
| 動作差圧 | 69〜294 kPa(d) |
| 動作差圧(20SLM超のとき) | 98〜295 kPa(d) |
| 外部シール材 | Metal |
| 応答性 | 1秒以内(フルスケールの±2%まで) |
| 繰り返し性 | フルスケールの±0.2%以下 |
| 外部リークレート | 1×10⁻¹⁰以下(He) atm·cc/sec |
| 流量制御範囲 | 2〜100 %F.S. |
| 最大動作圧力 | 490 kPa(g) |
| 耐圧力 | 981 kPa(g) |
| 使用可能周囲温度 | 5〜45 ℃ |
| 流量設定出力信号 | 0〜5VDC |
出典: メーカー資料
Aera FC-781C の装置概要 AIによる記述です
本装置は、半導体製造や各種産業プロセスにおいて高い信頼性を誇る、アナログ制御方式のマスフローコントローラーです。接合部のシール材にエラストマーを採用した実用性に優れた設計となっており、気密性とメンテナンス性を両立しています。
内部には熱式流量センサーと高精度なソレノイド駆動アクチュエータを搭載し、設定値に対して2秒以下という迅速な応答速度でガス流量を精密にコントロールします。制御精度は±1.0% F.S.、再現性は±0.2% F.S.を維持し、安定したプロセス環境を提供します。本個体はN2（窒素）ガス専用に校正されており、最大流量20SLM（Standard Liter per Minute）に対応しているため、中〜高流量域での確実な流量制御が可能です。
※AIによる参考情報です。実際の仕様・付属品・状態は個体により異なります。ご不明な点はお問い合わせください。
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