中古 Tylan マスフローコントローラー（MFC） FC-781C
本体価格(税別、送料別)30,000円
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- メーカー
- Tylan
- 型式
- FC-781C
- 機種
- マスフローコントローラー（MFC）
- 仕様
- ガスO2 流量20SLM
W150 D37 H130 - 管理番号
- Z21080350
- 引渡・支払
- 現状有姿/出荷前銀行振込(公的機関は後払い可)
仕様(この商品の仕様欄・銘板から)
| ガス種 | O2 |
|---|---|
| 流量(フルスケール) | 20 SLM |
| 外形寸法 | W150 D37 H130 mm |
FC-781C の参考仕様
型式の一般的な値を、AIがメーカー資料などから調べたものです。この個体を測った値ではありません。
| コネクタ接続 | CASE GND／COMMON／OUTPUT 0〜5VDC／+15VDC／(OUTPUT 0〜2.5mA)／VALVE TEST PT.／CONTROL 0〜5VDC／COMMON(VALVE RTN.)／VALVE OPEN・CLOSE／-15VDC／(ALARM OUT H・L)／(ALARM OFF) |
|---|---|
| フルスケールレンジ(N2換算) | 6〜50SLM |
| バルブ形式 | ノーマリクローズ |
| 外部シール材 | Metal(メタル) |
| 応答性(フルスケールの±2%まで) | 1秒以内 |
| 精度(フルスケール) | ±1%以下(20SLM超〜50SLMは±2%以下) |
| 直線性(フルスケール) | ±0.5%以下(20SLM超〜50SLMは±1%以下) |
| 繰り返し性(フルスケール) | ±0.2%以下 |
| 外部リークレート | 1×10⁻¹⁰atm·cc/sec(He)以下〈1×10⁻¹¹Pa·m³/sec(He)以下〉 |
| 流量制御範囲(フルスケール) | 2〜100% |
| 動作差圧 | 0.7〜3.0kgf/cm²(d)〈69〜294kPa(d)〉(20SLM超では1.0〜3.0kgf/cm²(d)) |
| 最大動作圧力 | 5kgf/cm²(g)〈490kPa(g)〉 |
| 耐圧力 | 10kgf/cm²(g)〈981kPa(g)〉 |
| 使用可能周囲温度 | 5〜45 ℃ |
※上記の仕様値は標準的な同系統機種のスペックに基づいた参考情報です。中古機械の性質上、実際の校正状況や内部パーツの構成によって異なる場合があります。
出典: メーカー資料
Tylan FC-781C の装置概要 AIによる記述です
本マスフローコントローラーは、半導体製造プロセスや各種産業用のガス供給ラインにおいて、気体の質量流量を高精度に計測・制御するための機器です。本個体は酸素（O2）ガス用に調整されており、最大20 SLM（Standard Liters per Minute）の流量域まで対応します。内部には、気体の質量流量を直接検出する熱式センサーと、応答性に優れた電磁式コントロールバルブを搭載しています。これにより、一次側（供給側）の圧力変動や温度変化に左右されず、設定された流量を極めて安定して維持します。外形寸法は幅150mm、奥行き37mm、高さ130mmのコンパクトな設計となっており、既存のガスパネルへの組み込みや、限られたスペースへの設置に適しています。アナログ制御により、外部システムからの正確な流量指令値の入力を受けて安定したガス供給プロセスをサポートします。
※AIによる参考情報です。実際の仕様・付属品・状態は個体により異なります。ご不明な点はお問い合わせください。
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