中古 Tylan マスフローコントローラー（MFC） FC-781C
本体価格(税別、送料別)30,000円
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- メーカー
- Tylan
- 型式
- FC-781C
- 機種
- マスフローコントローラー（MFC）
- 仕様
- ガスO2 流量20SLM
W150 D40 H155 - 管理番号
- Z21080352
- 引渡・支払
- 現状有姿/出荷前銀行振込(公的機関は後払い可)
仕様(この商品の仕様欄・銘板から)
| ガス種 | O2 |
|---|---|
| 流量(フルスケール) | 20 SLM |
| 外形寸法 | W150 D40 H155 mm |
FC-781C の参考仕様
型式の一般的な値を、AIがメーカー資料などから調べたものです。この個体を測った値ではありません。
| コネクタ接続 | CASE GND／COMMON／OUTPUT 0〜5VDC／+15VDC／(OUTPUT 0〜2.5mA)／VALVE TEST PT.／CONTROL 0〜5VDC／COMMON(VALVE RTN.)／VALVE OPEN・CLOSE／-15VDC／(ALARM OUT H・L)／(ALARM OFF) |
|---|---|
| フルスケールレンジ(N2換算) | 6〜50SLM |
| バルブ形式 | ノーマリクローズ |
| 外部シール材 | Metal(メタル) |
| 応答性(フルスケールの±2%まで) | 1秒以内 |
| 精度(フルスケール) | ±1%以下(20SLM超〜50SLMは±2%以下) |
| 直線性(フルスケール) | ±0.5%以下(20SLM超〜50SLMは±1%以下) |
| 繰り返し性(フルスケール) | ±0.2%以下 |
| 外部リークレート | 1×10⁻¹⁰atm·cc/sec(He)以下〈1×10⁻¹¹Pa·m³/sec(He)以下〉 |
| 流量制御範囲(フルスケール) | 2〜100% |
| 動作差圧 | 0.7〜3.0kgf/cm²(d)〈69〜294kPa(d)〉(20SLM超では1.0〜3.0kgf/cm²(d)) |
| 最大動作圧力 | 5kgf/cm²(g)〈490kPa(g)〉 |
| 耐圧力 | 10kgf/cm²(g)〈981kPa(g)〉 |
| 使用可能周囲温度 | 5〜45 ℃ |
出典: メーカー資料
Tylan FC-781C の装置概要 AIによる記述です
本装置は、半導体製造プロセスや各種産業・研究開発において、気体の質量流量を精密に測定・制御する熱式マスフローコントローラーです。測定対象ガスとして酸素（O2）に対応しており、最大20 SLM（Standard Liter per Minute）の中〜大流量域において、安定したガス供給プロセスを実現します。
内部に搭載された高精度な熱式センサーと応答性に優れた電磁バルブの組み合わせにより、ガス流量の変動に対して素早く追従し、設定値への優れた応答性と高い再現性を確保しています。シール部には信頼性の高いエラストマー素材が採用されており、外部漏れを防ぐ強固な気密性を維持します。制御はアナログ信号（0〜5 VDC）によって行われ、既存のガス供給パネルや各種制御システムへの統合がスムーズです。外形寸法は幅150mm×奥行40mm×高さ155mmとコンパクトに設計されており、限られたスペースへの設置やリプレイスにも適しています。
※AIによる参考情報です。実際の仕様・付属品・状態は個体により異なります。ご不明な点はお問い合わせください。
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