中古 Tylan マスフローコントローラー（MFC） FC-781C
本体価格(税別、送料別)30,000円
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- メーカー
- Tylan
- 型式
- FC-781C
- 機種
- マスフローコントローラー（MFC）
- 仕様
- ガスN2 流量50SLM
W150 D40 H155 - 管理番号
- Z21080354
- 引渡・支払
- 現状有姿/出荷前銀行振込(公的機関は後払い可)
仕様(この商品の仕様欄・銘板から)
| ガス種 | N2 |
|---|---|
| 流量(フルスケール) | 50 SLM |
| 外形寸法 | W150 D40 H155 mm |
FC-781C の参考仕様
型式の一般的な値を、AIがメーカー資料などから調べたものです。この個体を測った値ではありません。
| コネクタ接続 | CASE GND／COMMON／OUTPUT 0〜5VDC／+15VDC／(OUTPUT 0〜2.5mA)／VALVE TEST PT.／CONTROL 0〜5VDC／COMMON(VALVE RTN.)／VALVE OPEN・CLOSE／-15VDC／(ALARM OUT H・L)／(ALARM OFF) |
|---|---|
| フルスケールレンジ(N2換算) | 6〜50SLM |
| バルブ形式 | ノーマリクローズ |
| 外部シール材 | Metal(メタル) |
| 応答性(フルスケールの±2%まで) | 1秒以内 |
| 精度(フルスケール) | ±1%以下(20SLM超〜50SLMは±2%以下) |
| 直線性(フルスケール) | ±0.5%以下(20SLM超〜50SLMは±1%以下) |
| 繰り返し性(フルスケール) | ±0.2%以下 |
| 外部リークレート | 1×10⁻¹⁰atm·cc/sec(He)以下〈1×10⁻¹¹Pa·m³/sec(He)以下〉 |
| 流量制御範囲(フルスケール) | 2〜100% |
| 動作差圧 | 0.7〜3.0kgf/cm²(d)〈69〜294kPa(d)〉(20SLM超では1.0〜3.0kgf/cm²(d)) |
| 最大動作圧力 | 5kgf/cm²(g)〈490kPa(g)〉 |
| 耐圧力 | 10kgf/cm²(g)〈981kPa(g)〉 |
| 使用可能周囲温度 | 5〜45 ℃ |
出典: メーカー資料
Tylan FC-781C の装置概要 AIによる記述です
本装置は、気体の質量流量を高精度に計測・制御する熱式マスフローコントローラーです。半導体製造プロセスをはじめ、各種産業用ガス制御ラインにおいて長年の実績を持つ信頼性の高いシリーズに属します。測定対象ガスとして窒素（N2）に対応し、最大50SLM（Standard Liter per Minute）という比較的大流量の制御が可能です。
熱式センサーと高精度な電磁式コントロールバルブを組み合わせることで、一次側の圧力変動に対して迅速かつ安定した追従性を発揮します。本体サイズは幅150mm、奥行40mm、高さ155mmとコンパクトな設計になっており、限られたスペースのガスパネル内や装置内部への組み込みにも適しています。経年変化が少なく、長期にわたり安定したガス流量制御を提供できる堅牢な構造が特徴です。
※AIによる参考情報です。実際の仕様・付属品・状態は個体により異なります。ご不明な点はお問い合わせください。
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