中古 Tylan マスフローコントローラー（MFC） FM-860
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- メーカー
- Tylan
- 型式
- FM-860
- 機種
- マスフローコントローラー（MFC）
- 仕様
- ガスSiH4 流量300SCCM
W150 D40 H180 - 管理番号
- Z21080363
- 引渡・支払
- 現状有姿/出荷前銀行振込(公的機関は後払い可)
仕様(この商品の仕様欄・銘板から)
| ガス種 | SiH4 |
|---|---|
| 流量(フルスケール) | 300 SCCM |
| 外形寸法 | W150 D40 H180 mm |
| 現品銘板の型式 | FM-860(TYLAN MASS FLOW METER / NIPPON TYLAN CORP.) |
| 校正ガス(現品) | SiH4(モノシラン) |
| 流量(フルスケール、現品) | 300 SCCM |
FM-860 の参考仕様
型式の一般的な値を、AIがメーカー資料などから調べたものです。この個体を測った値ではありません。
| 種別 | マスフローメータ(流量計。制御バルブなし) |
|---|---|
| 流量出力 | 0〜5VDC(0〜2.5mA) |
| 電源 | ±15VDC |
| 測定方式 | 熱式質量流量センサ |
※FM-860 の仕様表(精度・動作差圧・継手)はメーカー資料・社内取説のどちらにも見つからず未確認。
※モノシラン(SiH4)は自然発火性の可燃性ガス。流した履歴があるため、洗浄状態の確認を勧める。
出典: 現品の銘板
Tylan FM-860 の装置概要 AIによる記述です
ガス配管に組み込み、流れるガスの質量流量を熱式質量流量センサで測定し、電気信号として出力する流量計です。銘板の表記はマスフローメータで、流量を制御するバルブは持たず、測定と信号出力だけを行う構成です。センサ部では、流れるガスが運ぶ熱量の変化から質量流量を求めます。このため、体積流量計に比べて温度や圧力の変動の影響を受けにくく、半導体製造装置や成膜装置のガスラインで流量監視に使われてきました。
現品はSiH4(モノシラン)で校正されており、フルスケール流量は300 SCCMです。流量出力は0〜5VDC(0〜2.5mA)、電源は±15VDCです。流量を表示・記録するには、外部の電源・表示ユニット、データロガー、装置側のコントローラなどと組み合わせます。校正ガス以外のガスで使う場合は、換算係数による補正が必要です。
精度、動作差圧、継手の仕様は確認できていません。接続前に現品で確かめてください。また、モノシランは自然発火性の可燃性ガスで、現品には流した履歴があります。洗浄状態を確認することを勧めます。
※AIによる参考情報です。実際の仕様・付属品・状態は個体により異なります。ご不明な点はお問い合わせください。
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