中古 堀場エステック Stec マスフローコントローラー（MFC） SEC-410
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- メーカー
- 堀場エステック Stec
- 型式
- SEC-410
- 機種
- マスフローコントローラー（MFC）
- 仕様
- ガス:20%SiH4/Ar 流量:1LM
- 管理番号
- Z230331062
- 引渡・支払
- 現状有姿/出荷前銀行振込(公的機関は後払い可)
仕様(この商品の仕様欄・銘板から)
| ガス種 | SiH4 |
|---|---|
| 濃度 | 20 % |
| 希釈ガス | Ar |
| 流量(フルスケール) | 1 LM |
| 現品銘板の型式 | SEC-410(STEC INC.) |
SEC-410 の参考仕様
型式の一般的な値を、AIがメーカー資料などから調べたものです。この個体を測った値ではありません。
| 校正ガス | O2(酸素) |
|---|---|
| 窒素換算コンバージョンファクタ(C.F.) | 0.99(N2基準) |
| 制御方式 | 熱式質量流量センサ + 制御バルブ |
※メーカー仕様書(精度・使用圧力・継手・応答時間)は取得できていない。SEC シリーズの旧型番はメーカーサイトから消えている。
※校正ガス以外で使うときは換算係数が必要。
出典: 現品の銘板
堀場エステック Stec SEC-410 の装置概要 AIによる記述です
気体の質量流量を測り、設定値に合わせて流量を制御するマスフローコントローラーです。ガスの流れに伴う熱の移動を熱式質量流量センサで捉えて流量を検出し、内蔵の制御バルブの開度を調整して、外部から与えた設定信号に応じた流量を保ちます。流量を体積ではなく質量として扱えるため、半導体製造装置や薄膜形成装置、研究用の真空プロセス装置などで、プロセスガスを決まった量ずつ供給する用途に組み込まれます。
MFCは個体ごとに校正ガスとフルスケール流量が決まっています。銘板を確認した個体は、校正ガスがO2(酸素)、フルスケール流量が3 LM、窒素換算のコンバージョンファクタ(C.F.)が0.99(N2基準)です。掲載品にはほかに、O2の5SLM、1%B2H6/Arの1LM、20%SiH4/Arの1LM、50%SiH4/N2の1SLM、N2の1LMといった仕様の物があり、ドーピングガスやシラン系成膜ガスのラインに対応する校正の物も含まれます。
校正ガス以外のガスで使う場合は、換算係数による補正が必要です。精度・使用圧力・継手・応答時間は、メーカー仕様書を取得できておらず確認できていません。
※AIによる参考情報です。実際の仕様・付属品・状態は個体により異なります。ご不明な点はお問い合わせください。
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