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中古 堀場エステック Stec マスフローコントローラー(MFC) SEC-410

本体価格(税別、送料別)30,000円
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メーカー
堀場エステック Stec
型式
SEC-410
機種
マスフローコントローラー(MFC)
仕様
ガス:O2 流量:3LM
管理番号
Z230331014
引渡・支払
現状有姿/出荷前銀行振込(公的機関は後払い可)

仕様(この商品の仕様欄・銘板から)

ガス種O2
流量(フルスケール)3 LM
現品銘板の型式SEC-410(STEC INC.)

SEC-410 の参考仕様

型式の一般的な値を、AIがメーカー資料などから調べたものです。この個体を測った値ではありません。

校正ガスO2(酸素)
窒素換算コンバージョンファクタ(C.F.)0.99(N2基準)
制御方式熱式質量流量センサ + 制御バルブ

出典: 現品の銘板

堀場エステック Stec SEC-410 の装置概要 AIによる記述です

本装置は、長年にわたり半導体製造ラインや各種産業プロセスで高い実績と信頼性を誇る、アナログインターフェース搭載の熱式マスフローコントローラーです。温度変化に強い高精度なセンサーと、追従性に優れたソレノイド駆動のコントロールバルブを組み合わせることで、安定したガス流量制御を実現します。ガス種はO2(酸素)、最大制御流量は3 LM(3 L/min / 3 SLM)に設定されています。アナログ信号(0〜5VDC)による外部制御に対応し、シンプルなシステム構成から既存設備のリプレイスまで幅広く適応します。

※AIによる参考情報です。実際の仕様・付属品・状態は個体により異なります。ご不明な点はお問い合わせください。

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