中古 堀場エステック Stec マスフローコントローラー（MFC） SEC-410
本体価格(税別、送料別)30,000円
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- メーカー
- 堀場エステック Stec
- 型式
- SEC-410
- 機種
- マスフローコントローラー（MFC）
- 仕様
- ガス:1%B2H6/Ar 流量:1LM
- 管理番号
- Z230331055
- 引渡・支払
- 現状有姿/出荷前銀行振込(公的機関は後払い可)
仕様(この商品の仕様欄・銘板から)
| ガス種 | B2H6 |
|---|---|
| 濃度 | 1 % |
| 希釈ガス | Ar |
| 流量(フルスケール) | 1 LM |
| 現品銘板の型式 | SEC-410(STEC INC.) |
SEC-410 の参考仕様
型式の一般的な値を、AIがメーカー資料などから調べたものです。この個体を測った値ではありません。
| 校正ガス | O2(酸素) |
|---|---|
| 窒素換算コンバージョンファクタ(C.F.) | 0.99(N2基準) |
| 制御方式 | 熱式質量流量センサ + 制御バルブ |
出典: 現品の銘板
堀場エステック Stec SEC-410 の装置概要 AIによる記述です
本装置は、半導体製造プロセスや各種産業分野で広く使用されている、高精度な熱式質量流量コントローラ（マスフローコントローラー）です。センサー部には、安定性と応答性に優れた独自の熱式センサーを搭載しており、温度変化や環境変動に対しても安定した流量測定・制御を実現します。制御バルブには、微少な流量から実用流量までを緻密に調整可能な高性能ソレノイドアクチュエータを採用。アナログ（0-5V DC）による外部制御に対応し、既存のシステムへの組み込みやリプレイスが容易です。本個体は、特殊ガスである「1% B2H6/Ar（ジボラン/アルゴン希釈ガス）」仕様として調整されており、フルスケール流量は1 LM（L/min相当）となっています。クリーンルーム内での精密なガス流量管理に最適な一台です。
※AIによる参考情報です。実際の仕様・付属品・状態は個体により異なります。ご不明な点はお問い合わせください。
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