中古 堀場エステック Stec マスフローコントローラー（MFC） SEC-410

本マスフローコントローラーは、半導体製造や研究開発分野において長年の実績を持つ、熱式質量流量制御装置です。アナログ制御方式を採用しており、優れた再現性と安定した流量制御能力を特長としています。本個体は、主にシリコンウェハへのボロンドーピング工程などで使用される特殊ガス「1% B2H6/Ar（アルゴン希釈1%ジボラン）」専用に調整されており、最大流量1 LM（L/min）の正確な制御が可能です。本シリーズにおいて、本構成が属するモデルはフルスケール流量10 sccmから10 slmまでの中・低流量域に対応する設計となっており、1 LMというプロセス条件において最適なパフォーマンスを発揮します。信頼性の高いシール構造により外部へのガス漏洩を防ぎ、安全な特殊ガス管理をサポートします。