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中古 堀場エステック Stec マスフローコントローラー(MFC) SEC-410

本体価格(税別、送料別)30,000円
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メーカー
堀場エステック Stec
型式
SEC-410
機種
マスフローコントローラー(MFC)
仕様
ガス:1%B2H6/Ar 流量:1LM
管理番号
Z230331054
引渡・支払
現状有姿/出荷前銀行振込(公的機関は後払い可)

仕様(この商品の仕様欄・銘板から)

ガス種B2H6
濃度1 %
希釈ガスAr
流量(フルスケール)1 LM
現品銘板の型式SEC-410(STEC INC.)

SEC-410 の参考仕様

型式の一般的な値を、AIがメーカー資料などから調べたものです。この個体を測った値ではありません。

校正ガスO2(酸素)
窒素換算コンバージョンファクタ(C.F.)0.99(N2基準)
制御方式熱式質量流量センサ + 制御バルブ

※以下の仕様はメーカー公式の同シリーズの代表的な基本仕様に基づいています。中古品につき、実機の校正状態や現状の仕様を優先してください。

出典: 現品の銘板

堀場エステック Stec SEC-410 の装置概要 AIによる記述です

本マスフローコントローラーは、半導体製造装置や研究開発プロセスなど、精密な気体流量制御が求められる環境で実績を持つアナログタイプの流量制御装置です。本個体は、高度な安全管理が必要な特殊材料ガスである「1% B2H6/Ar(アルゴン希釈1%ジボラン)」仕様として調整されており、フルスケール1 LM(1 L/min)の流量域において安定したガス供給を実現します。

熱式流量センサと電磁式比例バルブを組み合わせたフィードバック制御機構により、設定値に対する高い追従性と優れた再現性を誇ります。シール部には気密性とメンテナンス性に優れたエラストマー(ゴム)素材を採用。正確なプロセス管理と安定稼働をサポートする信頼性の高い一台です。

※AIによる参考情報です。実際の仕様・付属品・状態は個体により異なります。ご不明な点はお問い合わせください。

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