中古 堀場エステック Stec マスフローコントローラー（MFC） SEC-410
本体価格(税別、送料別)30,000円
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- メーカー
- 堀場エステック Stec
- 型式
- SEC-410
- 機種
- マスフローコントローラー（MFC）
- 仕様
- ガス:50%SiH4/N2 流量:1SLM
- 管理番号
- Z230331064
- 引渡・支払
- 現状有姿/出荷前銀行振込(公的機関は後払い可)
仕様(この商品の仕様欄・銘板から)
| ガス種 | SiH4 |
|---|---|
| 濃度 | 50 % |
| 希釈ガス | N2 |
| 流量(フルスケール) | 1 SLM |
| 現品銘板の型式 | SEC-410(STEC INC.) |
SEC-410 の参考仕様
型式の一般的な値を、AIがメーカー資料などから調べたものです。この個体を測った値ではありません。
| 校正ガス | O2(酸素) |
|---|---|
| 窒素換算コンバージョンファクタ(C.F.) | 0.99(N2基準) |
| 制御方式 | 熱式質量流量センサ + 制御バルブ |
※以下の数値は本シリーズの標準的なカタログスペックに基づく参考値であり、実機の校正状態やオプション仕様により異なる場合があります。
出典: 現品の銘板
堀場エステック Stec SEC-410 の装置概要 AIによる記述です
本装置は、半導体製造プロセスや精密薄膜形成分野において長年にわたり高い導入実績を誇る、アナログ制御方式の熱式マスフローコントローラーです。周囲の環境温度や圧力の変動に影響を受けにくい熱式質量流量センサーを搭載し、安定した気体の質量流量測定と高精度なバルブ制御を実現します。
本個体は、半導体デポジション工程等で使用される特殊材料ガスである「50%SiH4/N2（シラン50%・窒素バランス）」に対応した設計となっており、最大制御流量は「1SLM」です。駆動電源は±15VDC、流量設定および出力信号には0〜5VDCのアナログインターフェースを採用しているため、既存のアナログ制御システムや自動化ラインへのスムーズな組み込み、およびリプレイスに適しています。実績に裏打ちされた確実な応答性と信頼性を備えた、扱いやすいスタンダードモデルです。
※AIによる参考情報です。実際の仕様・付属品・状態は個体により異なります。ご不明な点はお問い合わせください。
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