中古 堀場エステック Stec マスフローコントローラー（MFC） SEC-410
本体価格(税別、送料別)30,000円
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- メーカー
- 堀場エステック Stec
- 型式
- SEC-410
- 機種
- マスフローコントローラー（MFC）
- 管理番号
- Z21080254
- 引渡・支払
- 現状有姿/出荷前銀行振込(公的機関は後払い可)
仕様(この商品の仕様欄・銘板から)
| 現品銘板の型式 | SEC-410(STEC INC.) |
|---|
SEC-410 の参考仕様
型式の一般的な値を、AIがメーカー資料などから調べたものです。この個体を測った値ではありません。
| 校正ガス | O2(酸素) |
|---|---|
| 流量(フルスケール) | 3 LM |
| 窒素換算コンバージョンファクタ(C.F.) | 0.99(N2基準) |
| 制御方式 | 熱式質量流量センサ + 制御バルブ |
出典: 現品の銘板
堀場エステック Stec SEC-410 の装置概要 AIによる記述です
本装置は、気体の質量流量を高精度に測定・制御する熱式マスフローコントローラーです。内部シールにエラストマー（フッ素ゴム）を採用しており、半導体製造プロセスをはじめ、各種理化学機器や産業用ガス供給ラインにおいて、多種多様なプロセスガスの安定制御に適しています。温度や圧力の変動に影響を受けにくい熱式センサーの搭載により、設定値に対する高い再現性と安定性を維持します。標準的な0〜5 VDCのアナログ入出力信号に対応しており、既存の制御システムへの組み込みやリプレイスが容易です。小流量から中流量域のガス制御において、信頼性の高いノーマリークローズ（N.C.）動作のバルブ機構を備えた、業界標準的な流量制御デバイスです。
※AIによる参考情報です。実際の仕様・付属品・状態は個体により異なります。ご不明な点はお問い合わせください。
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