中古 マスフローコントローラー（MFC）
メーカー名
Unit
型式UFC-1100
年式表記：
仕様:ガス:N2 流量:3SLM
仕様:ガス:N2 流量:3SLM
本体価格(税別、送料別)
30,000円
【AIによる装置概要】
長年にわたり半導体製造ラインや各種研究開発設備で採用され、その高い信頼性と安定した動作実績を誇るアナログ方式のマスフローコントローラです。
本個体は、窒素（N2）ガス用に調整されており、最大3SLM（標準状態において毎分3リットル）の流量制御に対応します。
高精度なサーマルセンサーと高速応答の電磁式比例弁を搭載しており、ガスの質量流量を環境温度や供給圧力の変動に左右されずに精密に制御します。
アナログ外部制御（0-5 VDC）に対応しており、既存のアナログシステムへの組み込みや、シンプルなガス配管制御系への統合が容易です。
生産ラインの保守部材（予備機）や、大学・研究所での実験装置構築、各種評価用治具のガス制御部として適しています。
【AIによる参考仕様】
・対応ガス：N2（窒素）
・最大流量（F.S.）：3 SLM（Standard Liters per Minute）
・流量制御範囲：2% ～ 100% F.S.（0.06 ～ 3 SLM）
・精度：±1.0% F.S.
・直線性：±0.5% F.S.
・再現性：±0.15% F.S.
・応答時間：2.0秒以下（制御目標値の±2%以内に到達する時間）
・動作差圧範囲：50 ～ 310 kPa（7.2 ～ 45 psid）
・耐圧（最大使用圧力）：1.0 MPa（約150 psig）
・外部制御信号：
- 流量設定信号（入力）：0 ～ 5 VDC
- 流量測定信号（出力）：0 ～ 5 VDC
・電源仕様：DC±15V（±5%）
・接ガス部材質：SUS316、Viton（フッ素ゴム）、Teflon
・配管接続口：1/4インチ（※実機の継手形状をご確認ください）
※上記仕様は同シリーズの基本設計に基づく標準的な参考値です。中古機器の特性上、個別の校正状態や経年により、実際の動作特性が異なる場合があります。
長年にわたり半導体製造ラインや各種研究開発設備で採用され、その高い信頼性と安定した動作実績を誇るアナログ方式のマスフローコントローラです。
本個体は、窒素（N2）ガス用に調整されており、最大3SLM（標準状態において毎分3リットル）の流量制御に対応します。
高精度なサーマルセンサーと高速応答の電磁式比例弁を搭載しており、ガスの質量流量を環境温度や供給圧力の変動に左右されずに精密に制御します。
アナログ外部制御（0-5 VDC）に対応しており、既存のアナログシステムへの組み込みや、シンプルなガス配管制御系への統合が容易です。
生産ラインの保守部材（予備機）や、大学・研究所での実験装置構築、各種評価用治具のガス制御部として適しています。
【AIによる参考仕様】
・対応ガス：N2（窒素）
・最大流量（F.S.）：3 SLM（Standard Liters per Minute）
・流量制御範囲：2% ～ 100% F.S.（0.06 ～ 3 SLM）
・精度：±1.0% F.S.
・直線性：±0.5% F.S.
・再現性：±0.15% F.S.
・応答時間：2.0秒以下（制御目標値の±2%以内に到達する時間）
・動作差圧範囲：50 ～ 310 kPa（7.2 ～ 45 psid）
・耐圧（最大使用圧力）：1.0 MPa（約150 psig）
・外部制御信号：
- 流量設定信号（入力）：0 ～ 5 VDC
- 流量測定信号（出力）：0 ～ 5 VDC
・電源仕様：DC±15V（±5%）
・接ガス部材質：SUS316、Viton（フッ素ゴム）、Teflon
・配管接続口：1/4インチ（※実機の継手形状をご確認ください）
※上記仕様は同シリーズの基本設計に基づく標準的な参考値です。中古機器の特性上、個別の校正状態や経年により、実際の動作特性が異なる場合があります。