中古 Unit マスフローコントローラー（MFC） UFC-1100
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- メーカー
- Unit
- 型式
- UFC-1100
- 機種
- マスフローコントローラー（MFC）
- 仕様
- ガス:N2 流量:3SLM
- 管理番号
- Z230331069
- 引渡・支払
- 現状有姿/出荷前銀行振込(公的機関は後払い可)
仕様(この商品の仕様欄・銘板から)
| ガス種 | N2 |
|---|---|
| 流量(フルスケール) | 3 SLM |
| 現品ラベルの型式 | UFC-1100(Unit Instruments) |
UFC-1100 の参考仕様
型式の一般的な値を、AIがメーカー資料などから調べたものです。この個体を測った値ではありません。
| 校正ガス | N2(窒素) |
|---|---|
| 最大使用圧力 | 500 PSI |
| 接ガス部材質 | 316ステンレス、ニッケル、モネル |
| シール材 | バイトン、ネオプレン、TOV(使用ガスによる) |
| 外形寸法 | 高さ137mm × 幅38mm × 前面高さ101mm(継手を除く) |
| 取付 | 8-32 取付穴(底面、間隔70mm) |
| 標準継手と全長 | Swagelok 1/4"=127mm、VCR 1/4"=124mm、VCO 1/4"=118mm |
| 零点調整 | 本体側面のゼロポット調整 |
| 制御方式 | 熱式質量流量センサ + フラックスコントロールバルブ |
※機械仕様・材質は社内保管の取扱説明書「MASS FLOW, UNIT, UFC-1100/1200/1400/1500」から転記した型式一般の値。
※精度・応答時間・動作差圧・電源はスキャンPDFの該当ページを特定できず未確認。
※校正ガス以外で使うときは換算係数(コンバージョンファクタ)が必要。取説の付録Bにガス換算表がある。
出典: 現品の銘板、メーカー資料
Unit UFC-1100 の装置概要 AIによる記述です
ガスの流量を質量流量として計測し、設定値に合わせて制御するマスフローコントローラーです。熱式質量流量センサで流れるガスの質量流量を検出し、フラックスコントロールバルブの開度を調整して流量を一定に保ちます。半導体製造装置や研究用ガスラインで、プロセスガスの供給量を管理する用途に使われます。
最大使用圧力は500 PSIです。接ガス部には316ステンレス、ニッケル、モネルを用い、シール材は使用ガスに応じてバイトン、ネオプレン、TOVが使われます。外形は継手を除いて高さ137mm × 幅38mm × 前面高さ101mmで、底面の8-32 取付穴(間隔70mm)で固定します。継手はSwagelok 1/4"、VCR 1/4"、VCO 1/4"があり、全長はそれぞれ127mm、124mm、118mmです。零点は本体側面のゼロポットで調整します。
フルスケール流量と校正ガスは個体ごとに設定されています。掲載品にはN2のほかSiH4、He、HCl用があり、流量は20SCCMから5SLMまでです。校正ガス以外で使う場合は、換算係数(コンバージョンファクタ)による補正が必要です。
※AIによる参考情報です。実際の仕様・付属品・状態は個体により異なります。ご不明な点はお問い合わせください。
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