中古 Unit マスフローコントローラー(MFC) UFC-1100
本体価格(税別、送料別)30,000円
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- メーカー
- Unit
- 型式
- UFC-1100
- 機種
- マスフローコントローラー(MFC)
- 仕様
- ガス:N2 流量:300SCCM
- 管理番号
- Z230331072
- 引渡・支払
- 現状有姿/出荷前銀行振込(公的機関は後払い可)
仕様(この商品の仕様欄・銘板から)
| ガス種 | N2 |
|---|---|
| 流量(フルスケール) | 300 SCCM |
| 現品ラベルの型式 | UFC-1100(Unit Instruments) |
UFC-1100 の参考仕様
型式の一般的な値を、AIがメーカー資料などから調べたものです。この個体を測った値ではありません。
| 校正ガス | N2(窒素) |
|---|---|
| 最大使用圧力 | 500 PSI |
| 接ガス部材質 | 316ステンレス、ニッケル、モネル |
| シール材 | バイトン、ネオプレン、TOV(使用ガスによる) |
| 外形寸法 | 高さ137mm × 幅38mm × 前面高さ101mm(継手を除く) |
| 取付 | 8-32 取付穴(底面、間隔70mm) |
| 標準継手と全長 | Swagelok 1/4"=127mm、VCR 1/4"=124mm、VCO 1/4"=118mm |
| 零点調整 | 本体側面のゼロポット調整 |
| 制御方式 | 熱式質量流量センサ + フラックスコントロールバルブ |
出典: 現品の銘板、メーカー資料
Unit UFC-1100 の装置概要 AIによる記述です
本装置は、半導体製造プロセスや各種研究開発において長年の実績を持つ、熱式センサー搭載のアナログ制御方式マスフローコントローラー(MFC)です。対象ガスは窒素(N2)に調整されており、最大300 SCCM(標準ミリリットル/分)の流量レンジを精密に測定および制御します。
内部の流速センサーはガスの質量流量を直接検出するため、温度や圧力の変動に影響されず、安定したプロセス管理が可能です。制御バルブには、一次側・二次側の異常時や無通電時に自動で流路を遮断するノーマリークローズ(常時閉)タイプを採用しており、安全性の高いシステム設計に寄与します。
入出力信号はアナログの0〜5 VDCに対応し、±15 VDCの外部電源で動作します。既存のアナログ制御システムへの組み込み、および生産ラインの保守・交換用部材として信頼性の高い仕様となっています。
※AIによる参考情報です。実際の仕様・付属品・状態は個体により異なります。ご不明な点はお問い合わせください。
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