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中古 Unit マスフローコントローラー(MFC) UFC-1100

本体価格(税別、送料別)30,000円
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メーカー
Unit
型式
UFC-1100
機種
マスフローコントローラー(MFC)
仕様
ガス:N2 流量:300SCCM
管理番号
Z230331072
引渡・支払
現状有姿/出荷前銀行振込(公的機関は後払い可)

仕様(この商品の仕様欄・銘板から)

ガス種N2
流量(フルスケール)300 SCCM
現品ラベルの型式UFC-1100(Unit Instruments)

UFC-1100 の参考仕様

型式の一般的な値を、AIがメーカー資料などから調べたものです。この個体を測った値ではありません。

校正ガスN2(窒素)
最大使用圧力500 PSI
接ガス部材質316ステンレス、ニッケル、モネル
シール材バイトン、ネオプレン、TOV(使用ガスによる)
外形寸法高さ137mm × 幅38mm × 前面高さ101mm(継手を除く)
取付8-32 取付穴(底面、間隔70mm)
標準継手と全長Swagelok 1/4"=127mm、VCR 1/4"=124mm、VCO 1/4"=118mm
零点調整本体側面のゼロポット調整
制御方式熱式質量流量センサ + フラックスコントロールバルブ

出典: 現品の銘板、メーカー資料

Unit UFC-1100 の装置概要 AIによる記述です

本装置は、半導体製造プロセスや各種研究開発において長年の実績を持つ、熱式センサー搭載のアナログ制御方式マスフローコントローラー(MFC)です。対象ガスは窒素(N2)に調整されており、最大300 SCCM(標準ミリリットル/分)の流量レンジを精密に測定および制御します。

内部の流速センサーはガスの質量流量を直接検出するため、温度や圧力の変動に影響されず、安定したプロセス管理が可能です。制御バルブには、一次側・二次側の異常時や無通電時に自動で流路を遮断するノーマリークローズ(常時閉)タイプを採用しており、安全性の高いシステム設計に寄与します。

入出力信号はアナログの0〜5 VDCに対応し、±15 VDCの外部電源で動作します。既存のアナログ制御システムへの組み込み、および生産ラインの保守・交換用部材として信頼性の高い仕様となっています。

※AIによる参考情報です。実際の仕様・付属品・状態は個体により異なります。ご不明な点はお問い合わせください。

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