中古機 マスフローコントローラー（MFC） Aera製、型式FC-780Cのご紹介

【AIによる装置概要】
本装置は、半導体製造や各種真空プロセスにおいて、ガスの質量流量を精密に測定・制御するためのマスフローコントローラーです。内部に熱式質量流量センサーと比例制御バルブを搭載しており、温度や圧力の変動に影響されることなく、外部からの設定信号に応じて常に一定のガス流量を自動で維持します。

本個体は、ドライエッチングやCVD装置のチャンバークリーニング工程などで多用されるプロセスガスであるCF4（四フッ化炭素）専用に調整されており、最大フルスケール流量は200 SCCMに設定されています。CF4のようなハロゲン系ガスを取り扱う環境を想定し、本シリーズの接ガス部には耐食性に優れたSUS316Lなどのステンレス鋼材が使用されています。また、外部への微量なガス漏洩を防ぐため、非常に高い気密性を確保できるメタルシール構造を採用しており、高純度ガスや反応性ガスを安全かつ厳密に制御する用途に適しています。

流量精度はフルスケールに対して±1.0%、応答時間は1.0秒以内と高速かつ安定した制御性能を備えています。外部インターフェースは、設定および流量出力ともに標準的な0〜5 VDCのアナログ電圧信号に対応しており、動作電源として±15 VDCの直流電源を使用します。アナログ制御ベースの既存設備や実験装置への組み込みが容易な設計となっています。

【AIによる参考仕様】
対象ガス：CF4（四フッ化炭素）
フルスケール流量：200 SCCM
流量制御範囲：2 ～ 100% F.S.
流量精度：±1.0% F.S.
リニアリティ：±0.5% F.S.
再現性：±0.2% F.S.
応答時間：1.0秒以内
設定電圧（入力）：0 ～ 5 VDC
流量出力電圧（出力）：0 ～ 5 VDC
駆動電源：±15 VDC
シール方式：メタルシール
バルブ動作：ノーマリークローズ (N.C.)
接ガス部材質：SUS316L等のステンレス鋼
外部リークレート：1.0×10^-9 atm・cc/sec (He) 以下
耐圧：1.0 MPa (G)
動作温度範囲：5 ～ 45 ℃