中古 Aera マスフローコントローラー（MFC） FC-780C
本体価格(税別、送料別)30,000円
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- メーカー
- Aera
- 型式
- FC-780C
- 機種
- マスフローコントローラー（MFC）
- 仕様
- ガスSF6 流量10SCCM
W125 D30 H135 - 管理番号
- Z21080228
- 引渡・支払
- 現状有姿/出荷前銀行振込(公的機関は後払い可)
仕様(この商品の仕様欄・銘板から)
| ガス種 | SF6 |
|---|---|
| 流量(フルスケール) | 10 SCCM |
| 外形寸法 | W125 D30 H135 mm |
FC-780C の参考仕様
型式の一般的な値を、AIがメーカー資料などから調べたものです。この個体を測った値ではありません。
| コネクタ接続 | CASE GND／COMMON／OUTPUT 0〜5VDC／+15VDC／(OUTPUT 0〜2.5mA)／VALVE TEST PT.／CONTROL 0〜5VDC／COMMON(VALVE RTN.)／VALVE OPEN・CLOSE／-15VDC／(ALARM OUT H・L)／(ALARM OFF) |
|---|---|
| フルスケールレンジ(N2換算) | 10SCCM〜5SLM |
| バルブ形式 | ノーマリクローズ |
| 外部シール材 | Metal(メタル) |
| 応答性(フルスケールの±2%まで) | 1秒以内 |
| 精度(フルスケール) | ±1%以下(20SLM超〜50SLMは±2%以下) |
| 直線性(フルスケール) | ±0.5%以下(20SLM超〜50SLMは±1%以下) |
| 繰り返し性(フルスケール) | ±0.2%以下 |
| 外部リークレート | 1×10⁻¹⁰atm·cc/sec(He)以下〈1×10⁻¹¹Pa·m³/sec(He)以下〉 |
| 流量制御範囲(フルスケール) | 2〜100% |
| 動作差圧 | 0.3〜3.0kgf/cm²(d)〈29〜294kPa(d)〉 |
| 最大動作圧力 | 5kgf/cm²(g)〈490kPa(g)〉 |
| 耐圧力 | 10kgf/cm²(g)〈981kPa(g)〉 |
| 使用可能周囲温度 | 5〜45 ℃ |
出典: メーカー資料
Aera FC-780C の装置概要 AIによる記述です
本装置は、半導体製造や精密化学プロセスなどの高精度なガス流量制御が求められる環境で使用される、メタルシールタイプのアナログマスフローコントローラーです。SF6（六フッ化硫黄）ガス用に、最大流量10 SCCMでキャリブレーション（調整）されています。
メタルシール構造を採用しているため、エラストマーシールに比べて外部へのガス漏洩（リーク）が極めて少なく、反応性の高いガスに対しても高い耐久性と気密性を発揮します。また、有機物の放出（アウトガス）を最小限に抑えることができるため、超高真空システムやクリーン度が重視されるプロセスに適しています。
制御方式は実績のあるアナログ方式であり、外部からの0〜5 VDC信号による流量制御および流量出力に対応しています。既存のアナログ制御システムへ容易に組み込むことが可能です。
※AIによる参考情報です。実際の仕様・付属品・状態は個体により異なります。ご不明な点はお問い合わせください。
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