中古 Tylan キャパシタンスダイアフラムゲージ CMH-05S06

真空コンポーネントは、真空ポンプと真空チャンバーのあいだ、あるいはその周りに付いて、真空装置を「測る・止める・入れる・つなぐ・動かす」役割を受け持つ機器と部品の総称である。ポンプだけでは真空装置にならず、圧力を測り、排気の経路を開け閉めし、プロセスガスや電力を必要な量だけチャンバーへ送り込む部品がそろって、はじめて成膜やエッチング、分析ができる。
測る側の中心は真空計とゲージコントローラーである。大気圧付近から高真空までを一つの方式で測ることはできないため、ピラニー真空計や隔膜真空計(キャパシタンスマノメーター)で粗引き域を、電離真空計で高真空域を受け持たせ、コントローラーで表示や設定値の接点出力を行う組み合わせが多い。隔膜真空計はガス種によらず圧力を測れるため、プロセス中の圧力の制御にも使われる。エッチングの終わりを光や信号の変化でとらえるエンドポイントモニターも、プロセスを測る機器としてこの分野に入る。
止める・調える側には真空バルブとバルブコントローラーがある。ゲートバルブやアングルバルブで排気経路を開閉し、コンダクタンスを連続的に変えられるバルブと圧力コントローラーを組み合わせれば、ガスを流しながらチャンバー内の圧力を一定に保てる。入れる側はマスフローコントローラー(MFC)などの流量機器で、プロセスガスを質量流量で正確に送り込む。プラズマを使う装置では、DC電源やRF電源と整合器が電力を入れる役を担う。
つなぐ・動かす部品としては、フランジやビューポート、電流導入端子、フレキシブルホースといった配管部品と、真空を保ったまま試料を動かす直線導入機・回転導入機・マニピュレーターがある。さらに、ポンプの油が真空側へ戻るのを防ぐフォアライントラップや、排気口から出る油の霧を捕えるオイルミストトラップ、チャンバー本体やスパッタ用カソードなどのチャンバー部品も含まれる。
これらは半導体・FPDの製造装置、スパッタや蒸着の成膜装置、表面分析装置、大学や研究機関の自作の真空装置で広く使われる。選ぶときは、まず装置のどの位置に入るか(粗引き側か高真空側か、ガスや電力の入口か)と、相手側の規格(フランジの種類と口径、信号やコネクタの形)を決め、そのうえで下の種類から当てはまる物を探すと迷いにくい。コントローラーと検出部、電源と整合器のように対で働く物が多いので、組み合わせを崩さずに手当てできるかも要点になる。また、真空コンポーネントは装置の補修部品として探されることも多く、同じ系列の後継機と取付け寸法や信号がそろっているかを確かめれば、古い装置の部品を中古で置き換える道も開ける。