中古 Aera マスフローコントローラー（MFC） FC-780C
本体価格(税別、送料別)30,000円
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- メーカー
- Aera
- 型式
- FC-780C
- 機種
- マスフローコントローラー（MFC）
- 仕様
- 使用ガスSF6 流量10SCCM
- 管理番号
- Z21080223
- 引渡・支払
- 現状有姿/出荷前銀行振込(公的機関は後払い可)
仕様(この商品の仕様欄・銘板から)
| ガス種 | SF6 |
|---|---|
| 流量(フルスケール) | 10 SCCM |
FC-780C の参考仕様
型式の一般的な値を、AIがメーカー資料などから調べたものです。この個体を測った値ではありません。
| コネクタ接続 | CASE GND／COMMON／OUTPUT 0〜5VDC／+15VDC／(OUTPUT 0〜2.5mA)／VALVE TEST PT.／CONTROL 0〜5VDC／COMMON(VALVE RTN.)／VALVE OPEN・CLOSE／-15VDC／(ALARM OUT H・L)／(ALARM OFF) |
|---|---|
| 外形寸法 | 124(L)×32(W)×122(H) mm |
| フルスケールレンジ(N2換算) | 10SCCM〜5SLM |
| バルブ形式 | ノーマリクローズ |
| 外部シール材 | Metal(メタル) |
| 応答性(フルスケールの±2%まで) | 1秒以内 |
| 精度(フルスケール) | ±1%以下(20SLM超〜50SLMは±2%以下) |
| 直線性(フルスケール) | ±0.5%以下(20SLM超〜50SLMは±1%以下) |
| 繰り返し性(フルスケール) | ±0.2%以下 |
| 外部リークレート | 1×10⁻¹⁰atm·cc/sec(He)以下〈1×10⁻¹¹Pa·m³/sec(He)以下〉 |
| 流量制御範囲(フルスケール) | 2〜100% |
| 動作差圧 | 0.3〜3.0kgf/cm²(d)〈29〜294kPa(d)〉 |
| 最大動作圧力 | 5kgf/cm²(g)〈490kPa(g)〉 |
| 耐圧力 | 10kgf/cm²(g)〈981kPa(g)〉 |
| 使用可能周囲温度 | 5〜45 ℃ |
出典: メーカー資料
Aera FC-780C の装置概要 AIによる記述です
本装置は、半導体製造プロセスや各種研究開発において長年の実績を持つ、高精度なアナログ式マスフローコントローラーです。
本モデルは、優れた気密性と信頼性を誇るメタルシール構造を採用しており、外部へのガス漏洩を極限まで防ぐ高い安全性を備えています。今回は半導体エッチング等に用いられるSF6（六フッ化硫黄）ガス仕様として調整されており、フルスケール10 SCCMという極微小流量の精密制御に対応します。
応答性能に優れており、設定値の±2%以内に到達するまでの応答時間は代表値で2.0秒以下を達成。アナログ信号（0〜5 VDC）による流量設定および出力モニターに対応しており、既存のアナログ制御システムやガスラインへの統合・リプレイスが容易です。プロセスガスの微量かつ安定した供給に最適な高信頼性デバイスです。
※AIによる参考情報です。実際の仕様・付属品・状態は個体により異なります。ご不明な点はお問い合わせください。
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