中古 Aera マスフローコントローラー（MFC） FC-780C

本装置は、半導体製造や各種プロセスガス制御において信頼性の高い実績を持つ、アナログ制御方式のエラストマーシールマスフローコントローラー（MFC）です。腐食性の高い塩素（Cl2）ガス専用に設計・校正されており、最大流量200SCCMまでの微小流量を極めて精密に制御します。

内部には、周囲の温度や供給圧力の変動に左右されずに質量流量を正確に測定する熱式流量センサと、応答性に優れた電磁式コントロールバルブを搭載しています。シール部には耐薬品性に優れたエラストマー素材（ゴムシール）が採用されており、高い気密性と優れたコストパフォーマンスを両立しています。面間（接続幅）125mm、本体厚み30mm、高さ135mmのコンパクト設計により、既存のガスパネルや装置内配管への組み込み、および他社製同等サイズからのリプレイスがスムーズに行えます。