中古 Tylan マスフローコントローラー（MFC） FC-781C
本体価格(税別、送料別)30,000円
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- メーカー
- Tylan
- 型式
- FC-781C
- 機種
- マスフローコントローラー（MFC）
- 仕様
- ガスN2 流量50SLM
W150 D40 H155 - 管理番号
- Z21080356
- 引渡・支払
- 現状有姿/出荷前銀行振込(公的機関は後払い可)
仕様(この商品の仕様欄・銘板から)
| ガス種 | N2 |
|---|---|
| 流量(フルスケール) | 50 SLM |
| 外形寸法 | W150 D40 H155 mm |
FC-781C の参考仕様
型式の一般的な値を、AIがメーカー資料などから調べたものです。この個体を測った値ではありません。
| コネクタ接続 | CASE GND／COMMON／OUTPUT 0〜5VDC／+15VDC／(OUTPUT 0〜2.5mA)／VALVE TEST PT.／CONTROL 0〜5VDC／COMMON(VALVE RTN.)／VALVE OPEN・CLOSE／-15VDC／(ALARM OUT H・L)／(ALARM OFF) |
|---|---|
| フルスケールレンジ(N2換算) | 6〜50SLM |
| バルブ形式 | ノーマリクローズ |
| 外部シール材 | Metal(メタル) |
| 応答性(フルスケールの±2%まで) | 1秒以内 |
| 精度(フルスケール) | ±1%以下(20SLM超〜50SLMは±2%以下) |
| 直線性(フルスケール) | ±0.5%以下(20SLM超〜50SLMは±1%以下) |
| 繰り返し性(フルスケール) | ±0.2%以下 |
| 外部リークレート | 1×10⁻¹⁰atm·cc/sec(He)以下〈1×10⁻¹¹Pa·m³/sec(He)以下〉 |
| 流量制御範囲(フルスケール) | 2〜100% |
| 動作差圧 | 0.7〜3.0kgf/cm²(d)〈69〜294kPa(d)〉(20SLM超では1.0〜3.0kgf/cm²(d)) |
| 最大動作圧力 | 5kgf/cm²(g)〈490kPa(g)〉 |
| 耐圧力 | 10kgf/cm²(g)〈981kPa(g)〉 |
| 使用可能周囲温度 | 5〜45 ℃ |
出典: メーカー資料
Tylan FC-781C の装置概要 AIによる記述です
本装置は、半導体製造プロセスや各種産業分野において、気体の質量流量を高精度に計測・制御する熱式マスフローコントローラーです。窒素（N2）ガス用にキャリブレーションが施されており、最大50 SLM（Standard Liter per Minute）の流量制御に対応します。アナログ制御方式を採用しており、外部からの0〜5 VDCの制御信号に応じて内蔵の電磁式バルブ（通常閉：ノーマリークローズ）を駆動させ、設定された流量を安定して維持します。実流量の出力信号（0〜5 VDC）によるリアルタイムなモニターも可能です。外形寸法は幅150mm、奥行40mm、高さ155mmとコンパクトであり、既存の配管システムやガスパネルへの統合・リプレイスに適しています。長年にわたり製造ラインで採用されてきた実績を持ち、安定したガス供給管理を支える信頼性の高い流量制御デバイスです。
※AIによる参考情報です。実際の仕様・付属品・状態は個体により異なります。ご不明な点はお問い合わせください。
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