中古 堀場エステック Stec マスフローコントローラー（MFC） SEC-410
本体価格(税別、送料別)30,000円
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- メーカー
- 堀場エステック Stec
- 型式
- SEC-410
- 機種
- マスフローコントローラー（MFC）
- 仕様
- ガス:20%SiH4/Ar 流量:1LM
- 管理番号
- Z230331062
- 引渡・支払
- 現状有姿/出荷前銀行振込(公的機関は後払い可)
仕様(この商品の仕様欄・銘板から)
| ガス種 | SiH4 |
|---|---|
| 濃度 | 20 % |
| 希釈ガス | Ar |
| 流量(フルスケール) | 1 LM |
| 現品銘板の型式 | SEC-410(STEC INC.) |
SEC-410 の参考仕様
型式の一般的な値を、AIがメーカー資料などから調べたものです。この個体を測った値ではありません。
| 校正ガス | O2(酸素) |
|---|---|
| 窒素換算コンバージョンファクタ(C.F.) | 0.99(N2基準) |
| 制御方式 | 熱式質量流量センサ + 制御バルブ |
※上記仕様はメーカーの基本設計値および本個体の刻印内容に基づく参考値です。中古品のため、現在の校正状態や内部シール材の経年劣化状況については実機現物をご確認の上、ご使用前に必要に応じて再校正やメンテナンスを行ってください。
出典: 現品の銘板
堀場エステック Stec SEC-410 の装置概要 AIによる記述です
本製品は、長年にわたり半導体製造プロセスや理化学研究分野で広く活用されている、熱式センサ搭載のアナログマスフローコントローラーです。信頼性の高い質量流量測定技術を採用しており、周囲の温度や一次側圧力の変動に影響されず、安定したガス流量制御を実現します。
本個体は、特殊ガスであるシランをアルゴンで希釈した「20% SiH4/Ar」仕様として調整されており、フルスケール流量は「1 LM（1 L/min）」に設定されています。アナログインターフェースによるシンプルな電圧制御（0〜5 VDC）に対応しているため、既存の制御システムへの組み込みや、旧型設備のメンテナンス用リプレイス品として適しています。
※AIによる参考情報です。実際の仕様・付属品・状態は個体により異なります。ご不明な点はお問い合わせください。
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