中古 Tylan マスフローコントローラー（MFC） FC-260
本体価格(税別、送料別)30,000円
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- メーカー
- Tylan
- 型式
- FC-260
- 機種
- マスフローコントローラー（MFC）
- 仕様
- ガス5%SiH4／N2 流量3SLM
W130 D25 H110 - 管理番号
- Z21080326
- 引渡・支払
- 現状有姿/出荷前銀行振込(公的機関は後払い可)
仕様(この商品の仕様欄・銘板から)
| ガス種 | SiH4 |
|---|---|
| 濃度 | 5 % |
| 希釈ガス | N2 |
| 流量(フルスケール) | 3 SLM |
| 外形寸法 | W130 D25 H110 mm |
FC-260 の参考仕様
型式の一般的な値を、AIがメーカー資料などから調べたものです。この個体を測った値ではありません。
| フルスケール(N2換算) | 10SCCM〜5SLM |
|---|---|
| 最小コントロールレンジ | フルスケールの2% |
| セットポイントレスポンス | 6 秒 |
| 精度 | フルスケールの±1% |
| 直線性 | フルスケールの±0.5% |
| 繰り返し精度 | フルスケールの±0.2% |
| コントロールバルブ | ノーマリーオープン サーマルバルブ |
| リークレート | 1×10⁻⁹atm·cc/sec(He) |
| 接ガス部材質 | SUS316L、サファイア、バイトン、ネオプレンまたはカルレッツ |
| 取付方向 | 自由 |
| 作動圧 | 0.5〜2.8kgf/cm² |
| 耐圧 | 100kgf/cm² |
| 圧力影響 | 0.007%/PSI |
| 使用温度 | 5〜43 ℃ |
| 電源条件 | ±15VDC±4%(25／180mA MAX)、消費電力4.0W MAX |
出典: メーカー資料
Tylan FC-260 の装置概要 AIによる記述です
本装置は、気体の質量流量（質量流量率）を熱式センサによって測定し、内部のコントロールバルブを自動調整することで、設定された流量を正確に維持・制御する機器です。対象ガスは半導体プロセス等で使用される「5% SiH4／N2（シラン・窒素混合ガス）」に調整されており、最大3 SLM（Standard Liters per Minute）までの流量制御に対応しています。アナログ式の電気信号（一般的に0〜5 VDC）による入出力に対応しており、システム構築や既存設備への組み込みに適しています。筐体サイズは幅130mm、奥行25mm、高さ110mmのコンパクトな設計で、スペースの限られた配管パネル内にも効率的に配置可能です。シール部にはエラストマー素材が採用されており、該当ガス種において安定した動作信頼性を発揮します。
※AIによる参考情報です。実際の仕様・付属品・状態は個体により異なります。ご不明な点はお問い合わせください。
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