中古 Tylan マスフローコントローラー（MFC） FC-260
本体価格(税別、送料別)30,000円
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- メーカー
- Tylan
- 型式
- FC-260
- 機種
- マスフローコントローラー（MFC）
- 仕様
- ガスPH3 流量500SCCM
W130 D25 H110 - 管理番号
- Z21080327
- 引渡・支払
- 現状有姿/出荷前銀行振込(公的機関は後払い可)
仕様(この商品の仕様欄・銘板から)
| ガス種 | PH3 |
|---|---|
| 流量(フルスケール) | 500 SCCM |
| 外形寸法 | W130 D25 H110 mm |
FC-260 の参考仕様
型式の一般的な値を、AIがメーカー資料などから調べたものです。この個体を測った値ではありません。
| フルスケール(N2換算) | 10SCCM〜5SLM |
|---|---|
| 最小コントロールレンジ | フルスケールの2% |
| セットポイントレスポンス | 6 秒 |
| 精度 | フルスケールの±1% |
| 直線性 | フルスケールの±0.5% |
| 繰り返し精度 | フルスケールの±0.2% |
| コントロールバルブ | ノーマリーオープン サーマルバルブ |
| リークレート | 1×10⁻⁹atm·cc/sec(He) |
| 接ガス部材質 | SUS316L、サファイア、バイトン、ネオプレンまたはカルレッツ |
| 取付方向 | 自由 |
| 作動圧 | 0.5〜2.8kgf/cm² |
| 耐圧 | 100kgf/cm² |
| 圧力影響 | 0.007%/PSI |
| 使用温度 | 5〜43 ℃ |
| 電源条件 | ±15VDC±4%(25／180mA MAX)、消費電力4.0W MAX |
出典: メーカー資料
Tylan FC-260 の装置概要 AIによる記述です
本装置は、半導体製造や各種薄膜堆積プロセスにおいて広く活用されているアナログ方式のマスフローコントローラーです。毒性・可燃性を持つ特殊材料ガスであるホスフィン（PH3）に対応しており、最大500 SCCMまでのガス流量を高精度に計測・制御します。外形寸法は、面間長（継手端面間）130 mm、幅25 mm、高さ110 mmとコンパクトな設計になっており、既存のガス供給パネルや装置への統合がスムーズに行えます。制御には標準的な±15 VDCの駆動電源と0〜5 VDCの入出力信号が用いられ、安定したバルブ応答性とガス制御性能を維持します。中古機器として導入を検討される際は、接ガス部の洗浄履歴、動作電圧、および継手形状の詳細について事前に確認することをお勧めします。
※AIによる参考情報です。実際の仕様・付属品・状態は個体により異なります。ご不明な点はお問い合わせください。
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