中古 Tylan マスフローコントローラー（MFC） FC-260
本体価格(税別、送料別)30,000円
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- メーカー
- Tylan
- 型式
- FC-260
- 機種
- マスフローコントローラー（MFC）
- 仕様
- ガス:NH3 流量:1SLM
- 管理番号
- Z230331092
- 引渡・支払
- 現状有姿/出荷前銀行振込(公的機関は後払い可)
仕様(この商品の仕様欄・銘板から)
| ガス種 | NH3 |
|---|---|
| 流量(フルスケール) | 1 SLM |
FC-260 の参考仕様
型式の一般的な値を、AIがメーカー資料などから調べたものです。この個体を測った値ではありません。
| フルスケール(N2換算) | 10SCCM〜5SLM |
|---|---|
| 最小コントロールレンジ | フルスケールの2% |
| セットポイントレスポンス | 6 秒 |
| 精度 | フルスケールの±1% |
| 直線性 | フルスケールの±0.5% |
| 繰り返し精度 | フルスケールの±0.2% |
| コントロールバルブ | ノーマリーオープン サーマルバルブ |
| リークレート | 1×10⁻⁹atm·cc/sec(He) |
| 接ガス部材質 | SUS316L、サファイア、バイトン、ネオプレンまたはカルレッツ |
| 取付方向 | 自由 |
| 作動圧 | 0.5〜2.8kgf/cm² |
| 耐圧 | 100kgf/cm² |
| 圧力影響 | 0.007%/PSI |
| 使用温度 | 5〜43 ℃ |
| 電源条件 | ±15VDC±4%(25／180mA MAX)、消費電力4.0W MAX |
※以下は一般的な同種装置の仕様に基づいた参考値です。中古機器の特性上、実際のコネクタ形状やシール材質については現品を優先してください。
出典: メーカー資料
Tylan FC-260 の装置概要 AIによる記述です
本装置は、半導体製造プロセスや各種研究開発において長年の実績を持つ、熱式質量流量コントローラー（MFC）です。ガス流量を熱式センサーによって測定し、内部のコントロールバルブをフィードバック制御することで、一次側の圧力変動に左右されない極めて安定した流量供給を可能にします。
本仕様は、最大流量「1SLM」、対象ガス「NH3（アンモニア）」用に設計・校正されています。NH3は腐食性と毒性を有する特殊材料ガスであるため、接ガス部には高い耐食性を持つステンレス鋼や専用のシール材が選定されており、過酷なガス雰囲気下でも信頼性の高いガス制御を実現します。制御方式は標準的なアナログインターフェースを採用しており、既存のシステムやアナログ制御機器への組み込みが容易な仕様となっています。
※AIによる参考情報です。実際の仕様・付属品・状態は個体により異なります。ご不明な点はお問い合わせください。
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