中古 Tylan マスフローコントローラー（MFC） FC-260
本体価格(税別、送料別)30,000円
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- メーカー
- Tylan
- 型式
- FC-260
- 機種
- マスフローコントローラー（MFC）
- 仕様
- ガスB2H6 流量500SCCM
W130 D25 H110 - 管理番号
- Z21080329
- 引渡・支払
- 現状有姿/出荷前銀行振込(公的機関は後払い可)
仕様(この商品の仕様欄・銘板から)
| ガス種 | B2H6 |
|---|---|
| 流量(フルスケール) | 500 SCCM |
| 外形寸法 | W130 D25 H110 mm |
FC-260 の参考仕様
型式の一般的な値を、AIがメーカー資料などから調べたものです。この個体を測った値ではありません。
| フルスケール(N2換算) | 10SCCM〜5SLM |
|---|---|
| 最小コントロールレンジ | フルスケールの2% |
| セットポイントレスポンス | 6 秒 |
| 精度 | フルスケールの±1% |
| 直線性 | フルスケールの±0.5% |
| 繰り返し精度 | フルスケールの±0.2% |
| コントロールバルブ | ノーマリーオープン サーマルバルブ |
| リークレート | 1×10⁻⁹atm·cc/sec(He) |
| 接ガス部材質 | SUS316L、サファイア、バイトン、ネオプレンまたはカルレッツ |
| 取付方向 | 自由 |
| 作動圧 | 0.5〜2.8kgf/cm² |
| 耐圧 | 100kgf/cm² |
| 圧力影響 | 0.007%/PSI |
| 使用温度 | 5〜43 ℃ |
| 電源条件 | ±15VDC±4%(25／180mA MAX)、消費電力4.0W MAX |
出典: メーカー資料
Tylan FC-260 の装置概要 AIによる記述です
本装置は、半導体製造プロセスや各種研究開発において、気体の質量流量を高精度に測定・制御する熱式マスフローコントローラーです。対応ガス種は特殊材料ガスであるジボラン（B2H6）で、最大流量500 SCCMの微小流量域において安定した制御性能を発揮します。
内部の熱式センサーにより、周囲の温度や圧力の変化に左右されない質量流量の測定を行い、連動する電磁式比例制御バルブによって瞬時に設定流量へと調整します。制御信号には実績豊富で信頼性の高いアナログ方式（0-5 VDC）を採用しており、既存システムへのシームレスな統合やリプレイスが容易です。筐体サイズはW130mm×D25mm×H110mmと非常にコンパクトに設計されており、限られたスペースのガスパネル内でも効率的に配置することができます。
※AIによる参考情報です。実際の仕様・付属品・状態は個体により異なります。ご不明な点はお問い合わせください。
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