中古 Tylan マスフローコントローラー（MFC） FC-260
本体価格(税別、送料別)30,000円
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- メーカー
- Tylan
- 型式
- FC-260
- 機種
- マスフローコントローラー（MFC）
- 仕様
- ガスSiH4 流量500SCCM
W130 D25 H110 - 管理番号
- Z21080328
- 引渡・支払
- 現状有姿/出荷前銀行振込(公的機関は後払い可)
仕様(この商品の仕様欄・銘板から)
| ガス種 | SiH4 |
|---|---|
| 流量(フルスケール) | 500 SCCM |
| 外形寸法 | W130 D25 H110 mm |
FC-260 の参考仕様
型式の一般的な値を、AIがメーカー資料などから調べたものです。この個体を測った値ではありません。
| フルスケール(N2換算) | 10SCCM〜5SLM |
|---|---|
| 最小コントロールレンジ | フルスケールの2% |
| セットポイントレスポンス | 6 秒 |
| 精度 | フルスケールの±1% |
| 直線性 | フルスケールの±0.5% |
| 繰り返し精度 | フルスケールの±0.2% |
| コントロールバルブ | ノーマリーオープン サーマルバルブ |
| リークレート | 1×10⁻⁹atm·cc/sec(He) |
| 接ガス部材質 | SUS316L、サファイア、バイトン、ネオプレンまたはカルレッツ |
| 取付方向 | 自由 |
| 作動圧 | 0.5〜2.8kgf/cm² |
| 耐圧 | 100kgf/cm² |
| 圧力影響 | 0.007%/PSI |
| 使用温度 | 5〜43 ℃ |
| 電源条件 | ±15VDC±4%(25／180mA MAX)、消費電力4.0W MAX |
出典: メーカー資料
Tylan FC-260 の装置概要 AIによる記述です
本装置は、半導体製造プロセスや各種薄膜堆積装置において、特殊材料ガスを高精度に制御するための熱式マスフローコントローラー（MFC）です。対象ガスとしてシラン（SiH4）に対応し、最大流量500SCCMの微小流量域において安定したガス供給を実現します。
内部には、熱式流量センサーと電磁式比例制御バルブ、および精密な制御回路が一体化されており、上流側の圧力変動や温度変化に影響されることなく、設定された流量を正確に維持します。本機は、長年にわたり業界のスタンダードとして信頼されてきたアナログ制御方式を採用しており、0-5 VDCの入出力信号により、外部システムからの流量設定および実流量のモニター出力が容易に行えます。経年変化が少なく安定した動作が特徴であり、研究開発用装置の補修部品や、既存設備のリプレイス用として最適なポテンシャルを持っています。
※AIによる参考情報です。実際の仕様・付属品・状態は個体により異なります。ご不明な点はお問い合わせください。
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