中古 Tylan マスフローコントローラー（MFC） FC-260
本体価格(税別、送料別)30,000円
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- メーカー
- Tylan
- 型式
- FC-260
- 機種
- マスフローコントローラー（MFC）
- 仕様
- ガス:SIH2CL2 流量:100SCCM
- 管理番号
- Z230331095
- 引渡・支払
- 現状有姿/出荷前銀行振込(公的機関は後払い可)
仕様(この商品の仕様欄・銘板から)
| ガス種 | SiH2Cl2 |
|---|---|
| 流量(フルスケール) | 100 SCCM |
FC-260 の参考仕様
型式の一般的な値を、AIがメーカー資料などから調べたものです。この個体を測った値ではありません。
| フルスケール(N2換算) | 10SCCM〜5SLM |
|---|---|
| 最小コントロールレンジ | フルスケールの2% |
| セットポイントレスポンス | 6 秒 |
| 精度 | フルスケールの±1% |
| 直線性 | フルスケールの±0.5% |
| 繰り返し精度 | フルスケールの±0.2% |
| コントロールバルブ | ノーマリーオープン サーマルバルブ |
| リークレート | 1×10⁻⁹atm·cc/sec(He) |
| 接ガス部材質 | SUS316L、サファイア、バイトン、ネオプレンまたはカルレッツ |
| 取付方向 | 自由 |
| 作動圧 | 0.5〜2.8kgf/cm² |
| 耐圧 | 100kgf/cm² |
| 圧力影響 | 0.007%/PSI |
| 使用温度 | 5〜43 ℃ |
| 電源条件 | ±15VDC±4%(25／180mA MAX)、消費電力4.0W MAX |
※上記仕様はメーカーの標準的なカタログ値に基づく代表参考値です。中古機器の特性上、現物の校正状態や継手形状、コネクタ仕様が異なる場合があります。
出典: メーカー資料
Tylan FC-260 の装置概要 AIによる記述です
本装置は、半導体製造や各種薄膜堆積プロセスにおいて、長年にわたり高い信頼性と実績を誇る熱式マスフローコントローラです。反応性に富み、CVD（化学気相成長）プロセスなどで広く用いられるジクロロシラン（SiH2Cl2）ガス専用にキャリブレーション（調整）が施されており、最大流量100 SCCMまでの微少流量を極めて精密かつ安定的に制御します。
内部に搭載された熱センサとソレノイド制御バルブの組み合わせにより、優れた応答性と高い再現性を実現しています。アナログ制御方式（0〜5 VDCの入出力信号）を採用しており、既存のシステムや研究開発用装置への組み込み、または同系統システムのリプレイス（交換）用パーツとして最適です。接ガス部には耐食性に配慮した材質が選定されており、腐食性のある特殊ガスに対しても安定したパフォーマンスを持続します。
※AIによる参考情報です。実際の仕様・付属品・状態は個体により異なります。ご不明な点はお問い合わせください。
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