中古 Tylan マスフローコントローラー（MFC） FC-260
本体価格(税別、送料別)30,000円
この商品を問い合わせる
見積・送料・動作確認の結果をご案内します。通常1営業日以内にご返信します。
同じ型式の在庫がほかに6台あります → 中古 Tylan FC-260 の在庫7台を比べる
- 実機を見に来ていただけます(事前にご連絡ください)
- 大学・公的機関は後払い(請求書払い)できます
- 支払い・納期・返品について(よくある質問)
- メーカー
- Tylan
- 型式
- FC-260
- 機種
- マスフローコントローラー（MFC）
- 仕様
- ガスHCl 流量1SLM
W130 D25 H110 - 管理番号
- Z21080330
- 引渡・支払
- 現状有姿/出荷前銀行振込(公的機関は後払い可)
仕様(この商品の仕様欄・銘板から)
| ガス種 | HCl |
|---|---|
| 流量(フルスケール) | 1 SLM |
| 外形寸法 | W130 D25 H110 mm |
FC-260 の参考仕様
型式の一般的な値を、AIがメーカー資料などから調べたものです。この個体を測った値ではありません。
| フルスケール(N2換算) | 10SCCM〜5SLM |
|---|---|
| 最小コントロールレンジ | フルスケールの2% |
| セットポイントレスポンス | 6 秒 |
| 精度 | フルスケールの±1% |
| 直線性 | フルスケールの±0.5% |
| 繰り返し精度 | フルスケールの±0.2% |
| コントロールバルブ | ノーマリーオープン サーマルバルブ |
| リークレート | 1×10⁻⁹atm·cc/sec(He) |
| 接ガス部材質 | SUS316L、サファイア、バイトン、ネオプレンまたはカルレッツ |
| 取付方向 | 自由 |
| 作動圧 | 0.5〜2.8kgf/cm² |
| 耐圧 | 100kgf/cm² |
| 圧力影響 | 0.007%/PSI |
| 使用温度 | 5〜43 ℃ |
| 電源条件 | ±15VDC±4%(25／180mA MAX)、消費電力4.0W MAX |
出典: メーカー資料
Tylan FC-260 の装置概要 AIによる記述です
本装置は、半導体製造プロセスや研究開発における気相成長、エッチングなどの工程において、気体の質量流量を精密に測定・制御するために設計された熱式マスフローコントローラーです。特に腐食性の極めて高い塩化水素（HCl）ガスに対応した専用仕様となっており、接ガス部には耐食性に優れた金属材料やシール材が採用されています。制御信号および流量出力信号には業界の標準的なアナログ方式（0〜5 VDC）を採用しており、既存のアナログ式電源駆動ユニットや制御システムへの組み込みが容易です。最大流量は1 SLM（標準状態において毎分1リットル）に調整されており、微小かつ安定したガス流量の制御を必要とするプロセスに最適です。幅130mm、奥行25mm、高さ110mmのコンパクトな筐体設計により、ガスパネルや装置内部の限られたスペースに効率よく配置できます。
※AIによる参考情報です。実際の仕様・付属品・状態は個体により異なります。ご不明な点はお問い合わせください。
同じ型式 FC-260 の在庫
マスフローコントローラー（MFC）
Tylan
FC-260
30,000円
問い合わせるZ230331095
マスフローコントローラー（MFC）
Tylan
FC-260
30,000円
問い合わせるZ230331092
ほかのマスフローコントローラー（MFC）の在庫
マスフローコントローラー（MFC）の在庫をすべて見る(223点) ›
マスフローコントローラー（MFC）
Aera
FC-780C
30,000円
問い合わせるZ241011022
マスフローコントローラー（MFC）の買取も行っています
不要になったマスフローコントローラー（MFC）がありましたら、無料で査定します。廃棄・処分する前に一度ご相談ください。