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中古 Unit マスフローコントローラー(MFC) UFC-1100

本体価格(税別、送料別)30,000円
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メーカー
Unit
型式
UFC-1100
機種
マスフローコントローラー(MFC)
仕様
ガス:N2 流量:3SLM
管理番号
Z230331069
引渡・支払
現状有姿/出荷前銀行振込(公的機関は後払い可)

仕様(この商品の仕様欄・銘板から)

ガス種N2
流量(フルスケール)3 SLM
現品ラベルの型式UFC-1100(Unit Instruments)

UFC-1100 の参考仕様

型式の一般的な値を、AIがメーカー資料などから調べたものです。この個体を測った値ではありません。

校正ガスN2(窒素)
最大使用圧力500 PSI
接ガス部材質316ステンレス、ニッケル、モネル
シール材バイトン、ネオプレン、TOV(使用ガスによる)
外形寸法高さ137mm × 幅38mm × 前面高さ101mm(継手を除く)
取付8-32 取付穴(底面、間隔70mm)
標準継手と全長Swagelok 1/4"=127mm、VCR 1/4"=124mm、VCO 1/4"=118mm
零点調整本体側面のゼロポット調整
制御方式熱式質量流量センサ + フラックスコントロールバルブ

※上記仕様は同シリーズの基本設計に基づく標準的な参考値です。中古機器の特性上、個別の校正状態や経年により、実際の動作特性が異なる場合があります。

出典: 現品の銘板、メーカー資料

Unit UFC-1100 の装置概要 AIによる記述です

長年にわたり半導体製造ラインや各種研究開発設備で採用され、その高い信頼性と安定した動作実績を誇るアナログ方式のマスフローコントローラです。
本個体は、窒素(N2)ガス用に調整されており、最大3SLM(標準状態において毎分3リットル)の流量制御に対応します。
高精度なサーマルセンサーと高速応答の電磁式比例弁を搭載しており、ガスの質量流量を環境温度や供給圧力の変動に左右されずに精密に制御します。
アナログ外部制御(0-5 VDC)に対応しており、既存のアナログシステムへの組み込みや、シンプルなガス配管制御系への統合が容易です。
生産ラインの保守部材(予備機)や、大学・研究所での実験装置構築、各種評価用治具のガス制御部として適しています。

※AIによる参考情報です。実際の仕様・付属品・状態は個体により異なります。ご不明な点はお問い合わせください。

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