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中古 ファイファー Pfeiffer バキュームゲージ HPT100

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HPT100 の参考仕様

型式の一般的な値を、AIがメーカー資料などから調べたものです。この個体を測った値ではありません。

測定原理ベアード・アルバート型(熱陰極)およびピラニの複合型
測定範囲5 × 10⁻¹⁰ ~ 1000 hPa
測定精度(1×10⁻⁸ ~ 100 hPa)± 15 %
再現性(1×10⁻⁸ ~ 100 hPa)± 5 %
最大許容圧力1000 hPa(大気圧)
通信・出力信号RS-485(デジタル)、アナログ
電源電圧24 V DC (± 15 %)
動作周囲温度+5 ℃ ~ +50 ℃
最大ベークアウト温度150 ℃(電子モジュール取り外し時)
真空接続フランジDN 25 ISO-KF または DN 40 CF-F(※選択仕様による)
保護等級IP 54相当
フィラメント材質イットリアコート・イリジウム または タングステン

ファイファー Pfeiffer HPT100 の装置概要 AIによる記述です

本装置は、大気圧から超高真空領域までの広範囲な圧力測定を単一のユニットで実現するコンビネーションタイプの真空計です。内部には、低真空域を測定するピラニ真空計と、高真空・超高真空域の測定を担う熱陰極(ベアード・アルバート型)電離真空計の2つのセンサーが搭載されています。これにより、およそ 5×10⁻¹⁰ hPa から 1000 hPa(大気圧)までの連続的な圧力測定が可能となっています。

通信機能としてデジタル通信(RS-485)に対応したトランスミッターを内蔵しており、測定データの直接転送やPC・上位コントローラーからの遠隔監視に優れています。測定原理が異なる2つのセンサーをシームレスに連携させることで、測定値の切り替え時に発生しやすい不連続性を最小限に抑える設計が採用されています。真空排気システムにおける圧力のモニタリングやプロセス制御など、精緻な真空管理が求められる半導体製造装置、分析機器、各種研究開発用途に適した測定器です。

※AIによる参考情報です。実際の仕様・付属品・状態は個体により異なります。ご不明な点はお問い合わせください。

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