中古半導体関連の機器名リスト
膜厚計1件
光学部品1件
ラップ盤1件
アライナー16件
スピンコーター1件
ダイサー1件
スクライブ装置2件
ワイヤーボンダー1件
露光機3件
スタッドバンプボンダー1件
試料作製装置2件
半導体装置その他3件
抵抗率／シート抵抗測定器1件
半導体関連の在庫表
| 機器名称 | メーカー | 型番 | 管理番号 | シリアル | 年式 | 備考 |
|---|---|---|---|---|---|---|
| 試料作製装置 | ストルアス | LaboP0l-1 | Z20121006 | |||
| 試料作製装置 | ストルアス | labo-press3 | Z20121002 | |||
| スピンコーター | アクティブ | ACT-220DⅡ | Z20120503 | |||
| ビームリードボンダー | ライカ Leica | 7400IW | Z20120202 | |||
| SEMVision | アプライドマテリアル | G3 LITE | Z20090103 | |||
| SEMVision | アプライドマテリアル | G2 | Z20090102 | |||
| 薄膜ストレス測定装置 | テンコール TENCOR | FLX-2908 | Z20090101 | |||
| 膜厚計 | ナノメトリックス | M5100A | Z20080403 | |||
| レチクル | ニコン Nikon | R4425HDIS | Z20041014 | （Ver 4.151） | ||
| レチクル | ニコン Nikon | R4425HB | Z20041013 | （Ver 7.01） | ||
| レチクル | ニコン Nikon | R4425HA | Z20041012 | （Ver 7.00） | ||
| アライナーGAPユニット | キャノン Canon | Z20041011 | ||||
| アライナーサイズ変更キット | キャノン Canon | Z20041010 | ５インチ用 | |||
| アライナーサイズ変更キット | キャノン Canon | Z20041009 | ２インチ用 | |||
| アライナーフォーカス調整用マスク | キャノン Canon | No36-3 | Z20041008 | MPA500, MPA600用フォーカス調整用マスク 6インチ用 | ||
| アライナーフォーカス調整用マスク | キャノン Canon | No36-3 | Z20041007 | MPA500, MPA600用フォーカス調整用マスク 5インチ用 | ||
| アライナーフォーカス調整用マスク | キャノン Canon | No36-3 | Z20041006 | MPA500, MPA600用フォーカス調整用マスク 4インチ用 | ||
| アライナーフォーカス調整用マスク | キャノン Canon | No13 | Z20041005 | MPA500, MPA600用フォーカス調整用マスク 3インチ用 | ||
| アライナー調整用DRマスク | キャノン Canon | No52 | Z20041004 | MPA500, MPA600用DRマスク 6インチ用 マスクサイズ：7インチ丸 基準ガラスウェハー付き ガラス用特殊チャック付き | ||
| アライナー調整用DRマスク | キャノン Canon | No210 | Z20041003 | MPA500, MPA600用DRマスク 4インチ用 マスクサイズ：5インチ角 基準ガラスウェハー付き | ||
| アライナー調整用DRマスク | キャノン Canon | No35-3 | Z20041002 | MPA500, MPA600用DRマスク 5インチ用 マスクサイズ：6インチ角 | ||
| アライナー調整用マスク | キャノン Canon | BY9-8083 No3 | Z20041001 | 5インチ用 マスクサイズ：6インチ角 | ||
| アライナー | キャノン Canon | PLA-501F | Z20012750 | |||
| スクライブ装置 | オプトシステム OPTO・SYSTEM | OSM-IOSC1-GL1 | Z19060503 | 2000 | ガラス・セラミック基板用 ワーク：80＊80㎜ 移動量：X90、Y90．Z30㎜、Θ0°/90° ロールカッター、max100mm/sec | |
| スクライブ装置 | ダイトロン Daitron | DPS-302R | Z19040912 | 2007 | ||
| ブレーキング装置 | ダイトロン Daitron | DBM-403NR | Z19040911 | 2014 | ||
| 光学部品 | Z19031417 | |||||
| アライナー部品 | ナノテック | Z19031415 | ||||
| アライナー | キャノン Canon | PLA-600 | Z19021501 | |||
| ダイサー | ディスコ Disco | DAD562 | Z18021602 | リファブ、動作確認後販売 | ||
| スタッドバンプボンダー | 新川 | SBB-410 | G032903 | A3-50778 | 2003.12 | フロッピーが無い為、操作不可 イオナイザー用フィルターユニットを内部に取り付け改造 |
| マスクアライナー○ | キャノン(canon） | PLA-600F | D040201 | |||
| 抵抗率／シート抵抗測定器 | ナプソン NAPSON | NC-20 | C122002 | 2008 | ||
| マスクアライナー○ | キャノン(canon） | PLA-521FA | B072102 | 5インチ仕様（マスク6インチ） |