中古真空コンポーネント、Convectron Gaugeの販売、在庫紹介

コンベクトロンゲージ（コンベクトロン真空計）は、ピラニ真空計の測定原理を拡張し、大気圧から高真空の入り口までの広範囲な圧力を測定できるように設計された熱伝導型真空計の一種です。

基本原理は、加熱されたフィラメントからの熱放散を利用するピラニゲージと同じです。気体が薄い真空状態では、気体分子がフィラメントに衝突して熱を奪う熱伝導の効率が圧力に比例するため、フィラメントの温度変化に伴う電気抵抗の変化から圧力を算出します。

通常のピラニゲージは、数百Pa以上の高圧域になると熱伝導による放熱が飽和し、測定精度が著しく低下するという弱点があります。これに対しコンベクトロンゲージは、内部構造を最適化することで、高圧域（約100Paから大気圧）において気体の「自然対流」を発生させる仕組みを取り入れています。熱伝導に加えて対流による熱移動を正確に捉えることで、従来の熱伝導型真空計では困難だった大気圧付近までの測定を可能にしています。なお、対流現象を利用する特性上、指定された設置姿勢（水平または垂直）で正確に取り付ける必要があります。また、周囲温度の変動による誤差を補正する回路も組み込まれています。

主要な特徴として、大気圧（約10の5乗Pa）から約10のマイナス2乗Pa（10のマイナス4乗Torr）という広い圧力範囲を、単一のセンサーで連続して測定できる点が挙げられます。これにより、大気解放状態から粗引き、高真空排気への移行までを1台のゲージで監視でき、真空システムの簡略化とコスト削減に寄与します。また、可動部を持たない堅牢な構造のため耐衝撃性や耐久性に優れ、頻繁に大気開放が繰り返される過酷な環境でも安定して動作します。ただし、測定値は気体の熱物性に依存するため、窒素や空気以外のガスを測定する際はガス種に応じた指示値の補正が必要です。

主な用途としては、半導体やディスプレイ製造装置におけるロードロック室の圧力監視が挙げられます。大気圧から排気を行い、メインプロセス室へ基板を搬送できる圧力に達したかを判定する用途で多用されています。また、真空熱処理炉や真空溶解炉といった産業用加熱装置における排気プロセスの管理や、フリーズドライ（凍結乾燥）装置、真空包装機の圧力制御にも利用されます。さらに、ターボ分子ポンプなどの高真空用ポンプを安全に起動させるための前段圧力確認（インターロック用）としても、信頼性の高いセンサーとして広く標準的に採用されています。