中古 アングルバルブ（空圧弁）
メーカー名
Smc
型式XMA-16H0
年式表記：
仕様:
仕様:
本体価格(税別、送料別)
15,000円
【AIによる装置概要】
本装置は、真空配管系統の排気ラインやプロセスラインの開閉制御に用いられる、空圧操作式（常時閉：N.C.）の高真空L型バルブです。本体には軽量かつ熱伝導性に優れたアルミ合金を採用しており、コンパクトな設計により装置への実装スペースを削減します。バルブの駆動にはスプリングリターン式の空圧シリンダを使用し、操作空気を導入することで開弁、排気（無加圧）時には内蔵スプリングにより確実に閉弁する安全設計となっています。
本仕様は高温環境に対応可能な仕様（ヒーター非搭載モデル）であり、最高150℃（検知用オートスイッチなどの周辺機器を取り付けない状態）までのプロセス温度に対応します。接ガス部の主要シールにはフッ素ゴム（FKM）およびステンレス製ベローズを採用し、高真空領域での優れた気密性と低アウトガス性を実現しています。半導体製造装置や真空蒸着装置、分析機器などの高真空排気ラインに最適です。
【AIによる参考仕様】
・作動方式：空圧操作式（常時閉 / N.C. / スプリングリターン）
・接続フランジ規格：KF16（NW16）
・コンダクタンス：5 L/s
・使用圧力範囲：1.3 × 10⁻⁶ Pa 〜 0.1 MPa（大気圧）
・耐圧：0.2 MPa
・弁座リーク量：1.3 × 10⁻¹⁰ Pa・m³/s 以下（常温、Heリーク）
・外部リーク量：1.3 × 10⁻¹⁰ Pa・m³/s 以下（常温、Heリーク）
・操作空気圧力：0.4 〜 0.6 MPa
・操作ポート接続口径：M5 × 0.8
・使用温度範囲：5 〜 150℃（※オートスイッチ非装着時。オートスイッチ装着時の使用温度範囲は5 〜 60℃となります）
・主要材質：アルミ合金（ボディ）、ステンレス（ベローズ、内部金属部品）、FKM（シール材）
・本体質量：約0.28 kg
本装置は、真空配管系統の排気ラインやプロセスラインの開閉制御に用いられる、空圧操作式（常時閉：N.C.）の高真空L型バルブです。本体には軽量かつ熱伝導性に優れたアルミ合金を採用しており、コンパクトな設計により装置への実装スペースを削減します。バルブの駆動にはスプリングリターン式の空圧シリンダを使用し、操作空気を導入することで開弁、排気（無加圧）時には内蔵スプリングにより確実に閉弁する安全設計となっています。
本仕様は高温環境に対応可能な仕様（ヒーター非搭載モデル）であり、最高150℃（検知用オートスイッチなどの周辺機器を取り付けない状態）までのプロセス温度に対応します。接ガス部の主要シールにはフッ素ゴム（FKM）およびステンレス製ベローズを採用し、高真空領域での優れた気密性と低アウトガス性を実現しています。半導体製造装置や真空蒸着装置、分析機器などの高真空排気ラインに最適です。
【AIによる参考仕様】
・作動方式：空圧操作式（常時閉 / N.C. / スプリングリターン）
・接続フランジ規格：KF16（NW16）
・コンダクタンス：5 L/s
・使用圧力範囲：1.3 × 10⁻⁶ Pa 〜 0.1 MPa（大気圧）
・耐圧：0.2 MPa
・弁座リーク量：1.3 × 10⁻¹⁰ Pa・m³/s 以下（常温、Heリーク）
・外部リーク量：1.3 × 10⁻¹⁰ Pa・m³/s 以下（常温、Heリーク）
・操作空気圧力：0.4 〜 0.6 MPa
・操作ポート接続口径：M5 × 0.8
・使用温度範囲：5 〜 150℃（※オートスイッチ非装着時。オートスイッチ装着時の使用温度範囲は5 〜 60℃となります）
・主要材質：アルミ合金（ボディ）、ステンレス（ベローズ、内部金属部品）、FKM（シール材）
・本体質量：約0.28 kg