中古 アングルバルブ（空圧弁）
メーカー名
Smc
型式XMA-16H0
年式表記：
仕様:
仕様:
本体価格(税別、送料別)
15,000円
【AIによる装置概要】
本装置は、高真空プロセスにおいて優れた排気制御と高い信頼性を発揮する空圧駆動式のアングルバルブ（高真空L型バルブ）です。
高温対応仕様（150℃まで）となっており、熱負荷がかかる真空配管ラインや、ガス排気系での使用に適しています。内部構造にはベローズシール方式を採用することで、外部へのガス漏れを極限まで抑え、優れた気密性を維持します。
作動方式は単動（スプリングリターン）の常時閉（NC）タイプで、万が一の停電やエアー源遮断時にも自動的に閉止し、真空側の安全を確保するフェイルセーフ機能を備えています。接続フランジは汎用性の高いKF16規格に対応しており、半導体製造装置、FPD製造装置、各種真空成膜装置などの排気ラインに最適です。
【AIによる参考仕様】
* **作動方式**：空圧作動式（単動／スプリングリターン・常時閉（NC））
* **フランジサイズ**：KF16（NW16）
* **作動操作圧力**：0.4〜0.6 MPa
* **操作ポートサイズ**：M5×0.8
* **使用流体**：真空（非腐食性・不活性ガス）
* **使用温度範囲**：5〜150℃（高温仕様）
* **コンダクタンス**：5 L/s
* **耐圧（正圧）**：0.2 MPa（G）
* **リーク量**（常温、ガス透過除く）：
* 外部漏れ：1.3 × 10⁻¹⁰ Pa・m³/s 以下
* 弁座漏れ：1.3 × 10⁻⁸ Pa・m³/s 以下
* **主要部材質**：
* ボディ：アルミニウム合金
* ベローズ：ステンレス鋼（SUS316L）
* シール（Oリング）：FKM（フッ素ゴム）
* **本体質量**：約0.28 kg
本装置は、高真空プロセスにおいて優れた排気制御と高い信頼性を発揮する空圧駆動式のアングルバルブ（高真空L型バルブ）です。
高温対応仕様（150℃まで）となっており、熱負荷がかかる真空配管ラインや、ガス排気系での使用に適しています。内部構造にはベローズシール方式を採用することで、外部へのガス漏れを極限まで抑え、優れた気密性を維持します。
作動方式は単動（スプリングリターン）の常時閉（NC）タイプで、万が一の停電やエアー源遮断時にも自動的に閉止し、真空側の安全を確保するフェイルセーフ機能を備えています。接続フランジは汎用性の高いKF16規格に対応しており、半導体製造装置、FPD製造装置、各種真空成膜装置などの排気ラインに最適です。
【AIによる参考仕様】
* **作動方式**：空圧作動式（単動／スプリングリターン・常時閉（NC））
* **フランジサイズ**：KF16（NW16）
* **作動操作圧力**：0.4〜0.6 MPa
* **操作ポートサイズ**：M5×0.8
* **使用流体**：真空（非腐食性・不活性ガス）
* **使用温度範囲**：5〜150℃（高温仕様）
* **コンダクタンス**：5 L/s
* **耐圧（正圧）**：0.2 MPa（G）
* **リーク量**（常温、ガス透過除く）：
* 外部漏れ：1.3 × 10⁻¹⁰ Pa・m³/s 以下
* 弁座漏れ：1.3 × 10⁻⁸ Pa・m³/s 以下
* **主要部材質**：
* ボディ：アルミニウム合金
* ベローズ：ステンレス鋼（SUS316L）
* シール（Oリング）：FKM（フッ素ゴム）
* **本体質量**：約0.28 kg