中古機 アングルバルブ アルバック　Ulvac製、型式VULH　150CMのご紹介

【AIによる装置概要】
本装置は、高真空プロセスにおいて確実な流路遮断と優れた排気コンダクタンスを発揮する、手動操作式のアングル（L型）真空バルブです。
流路開閉の駆動軸シール部には、耐久性に優れた金属製ベローズを採用しており、外部からの微少リークや駆動部からのコンタミネーション（ガス放出など）を極限まで抑制します。
接続フランジにはISO規格（呼び径150）のクランプ式を採用しており、既存の真空配管システムへの組み込みや、国内外の真空装置への接続が容易に行えます。
分子流時において1,200 L/sの高い排気コンダクタンスを確保しており、真空蒸着装置、スパッタリング装置、真空熱処理炉などのメインバルブやラフラインバルブとして、システムの安定した排気性能を支えます。

【AIによる参考仕様】
* **駆動方式**: 手動（丸ハンドル式）
* **構造**: L型（アングルバルブ）
* **バルブ口径（呼び径）**: 150
* **接続フランジ規格**: ISO規格（クランプ式）
* **シール方式（軸部）**: ベローズシール
* **本体材質**: ステンレス鋼
* **シール部（Oリング）材質**: フッ素ゴム（FKM）
* **コンダクタンス（分子流）**: 1,200 L/s
* **使用圧力範囲**: 1.3×10⁻⁵ Pa 〜 大気圧
* **弁座・本体リーク量**: 1.3×10⁻⁹ Pa・m³/s 以下（Heリーク）
* **使用温度範囲**: 5 〜 60℃
* **面間寸法（軸心からフランジ面まで）**: 150 mm
* **製品質量**: 約 17 kg

（※上記仕様はメーカー公表の代表値に基づく参考情報です。中古品の実機状態によって異なる場合があります。）