中古 アングルバルブ（空圧弁）
メーカー名
Smc
型式XMA-16H0
年式表記：
仕様:
仕様:
本体価格(税別、送料別)
15,000円
【AIによる装置概要】
本装置は、高真空領域から大気圧までの真空配管システムにおいて、確実な流路の開閉を行う空圧作動式のアングルバルブ（L型バルブ）です。軽量かつ耐食性に優れたアルミ合金製ボディを採用しており、装置全体の軽量化と設置スペースの省スペース化に貢献します。
作動方式には、外部からの圧縮空気供給によってバルブを開き、供給遮断時には内蔵された引きばね（スプリング）の力でバルブを閉じる「単動（ノーマルクローズ）」を採用しています。この設計により、万が一の停電や操作用エアの喪失時にもバルブが自動的に閉じて真空側へのリークを防ぐ安全機能を備えています。
メインシール（弁座部）には気密性に優れたフッ素ゴム（FKM）を使用し、常温下で極めて高い遮断性能を発揮します。主に半導体製造装置、真空蒸着やスパッタリングをはじめとする薄膜形成装置、分析・理化学機器などの真空排気ラインにおける高精度な流体制御に適しています。
【AIによる参考仕様】
・接続フランジ：KF16
・作動方式：空圧単動（ノーマルクローズ / 引きばね式）
・使用流体：不活性ガス
・使用圧力範囲：10⁻⁶ Pa 〜 大気圧（0.1 MPa）
・弁コンダクタンス：5 L/s
・外部漏洩量：1.3 × 10⁻¹⁰ Pa・m³/s 以下（常温、ガス透過を除く）
・弁座漏洩量：1.3 × 10⁻¹⁰ Pa・m³/s 以下（常温、ガス透過を除く）
・操作空気圧力：0.4 〜 0.7 MPa
・操作ポート接続口径：Rc1/8
・流体および周囲温度：5 〜 60℃
・主要材質：アルミ合金（ボディ）、フッ素ゴム（シール材質）
・本体質量：約0.28 kg
本装置は、高真空領域から大気圧までの真空配管システムにおいて、確実な流路の開閉を行う空圧作動式のアングルバルブ（L型バルブ）です。軽量かつ耐食性に優れたアルミ合金製ボディを採用しており、装置全体の軽量化と設置スペースの省スペース化に貢献します。
作動方式には、外部からの圧縮空気供給によってバルブを開き、供給遮断時には内蔵された引きばね（スプリング）の力でバルブを閉じる「単動（ノーマルクローズ）」を採用しています。この設計により、万が一の停電や操作用エアの喪失時にもバルブが自動的に閉じて真空側へのリークを防ぐ安全機能を備えています。
メインシール（弁座部）には気密性に優れたフッ素ゴム（FKM）を使用し、常温下で極めて高い遮断性能を発揮します。主に半導体製造装置、真空蒸着やスパッタリングをはじめとする薄膜形成装置、分析・理化学機器などの真空排気ラインにおける高精度な流体制御に適しています。
【AIによる参考仕様】
・接続フランジ：KF16
・作動方式：空圧単動（ノーマルクローズ / 引きばね式）
・使用流体：不活性ガス
・使用圧力範囲：10⁻⁶ Pa 〜 大気圧（0.1 MPa）
・弁コンダクタンス：5 L/s
・外部漏洩量：1.3 × 10⁻¹⁰ Pa・m³/s 以下（常温、ガス透過を除く）
・弁座漏洩量：1.3 × 10⁻¹⁰ Pa・m³/s 以下（常温、ガス透過を除く）
・操作空気圧力：0.4 〜 0.7 MPa
・操作ポート接続口径：Rc1/8
・流体および周囲温度：5 〜 60℃
・主要材質：アルミ合金（ボディ）、フッ素ゴム（シール材質）
・本体質量：約0.28 kg