中古 アングルバルブ（空圧弁）
メーカー名
Smc
型式XMA-16H0
年式表記：
仕様:
仕様:
本体価格(税別、送料別)
15,000円
【AIによる装置概要】
高真空ラインの配管開閉に適した、単動エアーオペレート式（スプリングリターン）のL型バルブです。内部に金属ベローズを採用したベローズシール方式により、摺動部からの発塵を極限まで抑え、高い気密性とクリーンな真空環境を維持します。
本製品は、ヒータを搭載しない常温仕様（対応温度5〜60℃）であり、接続フランジには一般的なKF16規格を採用しています。高真空領域（1.3 × 10^-6 Pa）から大気圧までの広範囲な圧力に対応し、半導体製造装置、真空成膜装置、分析機器などの排気ラインやガス導入ラインの制御に広く利用されています。アルミ合金製の軽量・コンパクトなボディにより、限られたスペースへの設置や配管への負荷軽減に貢献します。
【AIによる参考仕様】
・作動方式：エアーオペレート（単動／スプリングリターン）
・フランジサイズ：KF16
・弁座リーク量：1.3 × 10^-9 Pa・m³/s 以下（常温、ガス透過を除く）
・外部リーク量：1.3 × 10^-10 Pa・m³/s 以下（常温、ガス透過を除く）
・作動圧力範囲：1.3 × 10^-6 Pa 〜 大気圧
・耐圧力：0.2 MPa
・使用温度範囲：5 〜 60 ℃
・操作圧力：0.4 〜 0.7 MPa
・操作ポート接続口径：M5 × 0.8
・主要部材質：本体：アルミニウム合金 / ベローズ：ステンレス鋼 / シール材：FKM（フッ素ゴム）
・分子流コンダクタンス：5 L/s
高真空ラインの配管開閉に適した、単動エアーオペレート式（スプリングリターン）のL型バルブです。内部に金属ベローズを採用したベローズシール方式により、摺動部からの発塵を極限まで抑え、高い気密性とクリーンな真空環境を維持します。
本製品は、ヒータを搭載しない常温仕様（対応温度5〜60℃）であり、接続フランジには一般的なKF16規格を採用しています。高真空領域（1.3 × 10^-6 Pa）から大気圧までの広範囲な圧力に対応し、半導体製造装置、真空成膜装置、分析機器などの排気ラインやガス導入ラインの制御に広く利用されています。アルミ合金製の軽量・コンパクトなボディにより、限られたスペースへの設置や配管への負荷軽減に貢献します。
【AIによる参考仕様】
・作動方式：エアーオペレート（単動／スプリングリターン）
・フランジサイズ：KF16
・弁座リーク量：1.3 × 10^-9 Pa・m³/s 以下（常温、ガス透過を除く）
・外部リーク量：1.3 × 10^-10 Pa・m³/s 以下（常温、ガス透過を除く）
・作動圧力範囲：1.3 × 10^-6 Pa 〜 大気圧
・耐圧力：0.2 MPa
・使用温度範囲：5 〜 60 ℃
・操作圧力：0.4 〜 0.7 MPa
・操作ポート接続口径：M5 × 0.8
・主要部材質：本体：アルミニウム合金 / ベローズ：ステンレス鋼 / シール材：FKM（フッ素ゴム）
・分子流コンダクタンス：5 L/s