中古機 アングルバルブ（空圧弁） Smc製、型式XMA-16H0のご紹介

【AIによる装置概要】
本装置は、半導体製造装置や理化学分析機器などの高真空排気ラインに適した、アルミ製の空圧操作式高真空L型バルブ（アングルバルブ）です。
駆動方式には、操作空気によってバルブを開き、スプリングによって自動で閉止する単動（常時閉：N.C.）タイプを採用しています。
最大の特徴として、バルブ本体は最高150℃までの高温流体や外部加熱に対応する高耐熱設計となっており、プロセス温度に応じた柔軟な運用が可能です（本仕様はヒータおよび温度センサ非搭載の本体のみのモデルです）。
内部の気密保持には耐久性に優れた金属製ベローズ（SUS316L）を使用し、弁座のメインシールにはFKM（フッ素ゴム）を採用することで、優れた低発塵性と高いシール性を両立しています。
配管接続規格はKF16に対応し、分子流におけるコンダクタンスは5 L/sを確保。装置内プロセスのクリーンな維持と、真空ラインの確実な遮断・制御に貢献します。

【AIによる参考仕様】
・作動方式：空圧操作式（単動・常時閉 / N.C.）
・配管接続フランジ（サイズ）：KF16（NW16）
・コンダクタンス（分子流）：5 L/s
・使用圧力範囲：1.3 × 10^-6 Pa（高真空）～ 大気圧（0.1 MPa）
・許容リーク量（常温時・ガス透過除く）：外部・弁座ともに 1.3 × 10^-11 Pa・m³/s 以下
・使用流体温度：5 ～ 150 ℃（※ヒータ・温度センサ非搭載。バルブ本体の耐熱温度です）
・操作空気圧力：0.4 ～ 0.7 MPa
・操作ポート接続口径：M5 × 0.8
・主要部品材質：
- ボディ：アルミニウム合金
- ベローズ：SUS316L（ステンレス鋼）
- メインシール（弁座）：FKM（フッ素ゴム）
・製品質量（本体）：約0.28 kg