中古 アングルバルブ（空圧弁）
メーカー名
Smc
型式XMA-16H0
年式表記：
仕様:
仕様:
本体価格(税別、送料別)
15,000円
【AIによる装置概要】
本装置は、真空配管の遮断および開閉を制御する、空圧操作（スプリングリターン・常時閉）方式の加熱対応型高真空L型バルブ（アングルバルブ）です。バルブボディに軽量で熱伝導性に優れたアルミニウム合金、ベローズ部には耐久性の高いステンレス（SUS316L）を採用しています。配管内における反応生成物の固着や堆積を防止するため、本体にAC100V仕様の40W加熱ヒーターを内蔵。外部の温度コントローラと組み合わせることで、最大150℃までの適切な温度管理が行えます。半導体やFPDの製造装置、真空成膜装置などの排気ラインおよびプロセスガス配管において、安定した真空シール性と長寿命な動作を実現します。
【AIによる参考仕様】
・作動方式：空圧操作式（スプリングリターン、常時閉：N.C.）
・バルブサイズ：16
・フランジ規格：KF16（NW16）
・使用圧力範囲：1.0×10^-6 Pa 〜 大気圧（1.0×10^5 Pa）
・作動圧力（操作空気圧）：0.4 〜 0.7 MPa
・操作ポート接続口径：M5 × 0.8
・リーク量（常温、ガス放出を除く）：
- 外部：1.3×10^-11 Pa・m³/s 以下
- 弁座：1.3×10^-11 Pa・m³/s 以下
・使用温度範囲：5 〜 150℃（ヒーター使用時）
・ヒーター仕様：
- 電源電圧：AC100V（50/60Hz）
- ヒーター容量：40 W
- 温度調節器：なし（外部温度制御が必要）
・主要部材質：
- ボディ：アルミニウム合金（A6063）
- ベローズ：ステンレス（SUS316L）
- シール（Oリング）：FKM（フッ素ゴム）
本装置は、真空配管の遮断および開閉を制御する、空圧操作（スプリングリターン・常時閉）方式の加熱対応型高真空L型バルブ（アングルバルブ）です。バルブボディに軽量で熱伝導性に優れたアルミニウム合金、ベローズ部には耐久性の高いステンレス（SUS316L）を採用しています。配管内における反応生成物の固着や堆積を防止するため、本体にAC100V仕様の40W加熱ヒーターを内蔵。外部の温度コントローラと組み合わせることで、最大150℃までの適切な温度管理が行えます。半導体やFPDの製造装置、真空成膜装置などの排気ラインおよびプロセスガス配管において、安定した真空シール性と長寿命な動作を実現します。
【AIによる参考仕様】
・作動方式：空圧操作式（スプリングリターン、常時閉：N.C.）
・バルブサイズ：16
・フランジ規格：KF16（NW16）
・使用圧力範囲：1.0×10^-6 Pa 〜 大気圧（1.0×10^5 Pa）
・作動圧力（操作空気圧）：0.4 〜 0.7 MPa
・操作ポート接続口径：M5 × 0.8
・リーク量（常温、ガス放出を除く）：
- 外部：1.3×10^-11 Pa・m³/s 以下
- 弁座：1.3×10^-11 Pa・m³/s 以下
・使用温度範囲：5 〜 150℃（ヒーター使用時）
・ヒーター仕様：
- 電源電圧：AC100V（50/60Hz）
- ヒーター容量：40 W
- 温度調節器：なし（外部温度制御が必要）
・主要部材質：
- ボディ：アルミニウム合金（A6063）
- ベローズ：ステンレス（SUS316L）
- シール（Oリング）：FKM（フッ素ゴム）