中古 アングルバルブ（空圧弁）
メーカー名
入江工研 IKC
型式1LV-100D3
年式表記：
仕様:
仕様:
本体価格(税別、送料別)
90,000円
【AIによる装置概要】
本真空バルブは、半導体・FPD製造装置や各種真空成膜装置などの高真空排気ラインに広く採用されている、空気作動（シリンダ駆動）式のベローズシール型アングルバルブです。駆動方式は複動型を採用しており、外部からの操作空気圧によって弁の開閉動作を確実に行います。
シャフトシール部には耐久性に優れた金属製成形ベローズを搭載し、高真空領域における優れた気密性とクリーンな動作を両立しています。接続フランジにはJIS規格のVG100およびVF100（呼び径100）を採用しており、一般的な産業用真空配管への接続が容易で、約350 L/sの高いコンダクタンスを確保します。主要なシール材には耐熱性に優れたFKM（フッ素ゴム）を使用しており、バルブ本体は最大150℃までのベーキング（加熱放出ガス処理）に対応可能です。信頼性が求められる真空プロセスラインのメイン遮断弁として適した仕様となっています。
【AIによる参考仕様】
・駆動方式：空気作動式・複動型
・接続フランジ規格：JIS VG100 / VF100（呼び径 100）
・シャフトシール構造：成形ベローズシール
・本体主要材質：ステンレス鋼
・シール材質（弁座/ボンネット）：FKM（フッ素ゴム）
・使用圧力範囲：1.3 × 10⁻⁶ Pa 〜 0.15 MPa（abs）
・外部リーク量：1.3 × 10⁻¹⁰ Pa・m³/s 以下
・弁座リーク量：1.3 × 10⁻⁹ Pa・m³/s 以下
・コンダクタンス：350 L/s
・面間寸法（フランジ面〜中心線）：130 mm
・操作空気圧力範囲：0.4 〜 0.6 MPa
・操作ポート接続口径：Rc1/8
・耐熱温度（バルブ本体）：150℃ 以下
・耐熱温度（シリンダ部）：60℃ 以下
本真空バルブは、半導体・FPD製造装置や各種真空成膜装置などの高真空排気ラインに広く採用されている、空気作動（シリンダ駆動）式のベローズシール型アングルバルブです。駆動方式は複動型を採用しており、外部からの操作空気圧によって弁の開閉動作を確実に行います。
シャフトシール部には耐久性に優れた金属製成形ベローズを搭載し、高真空領域における優れた気密性とクリーンな動作を両立しています。接続フランジにはJIS規格のVG100およびVF100（呼び径100）を採用しており、一般的な産業用真空配管への接続が容易で、約350 L/sの高いコンダクタンスを確保します。主要なシール材には耐熱性に優れたFKM（フッ素ゴム）を使用しており、バルブ本体は最大150℃までのベーキング（加熱放出ガス処理）に対応可能です。信頼性が求められる真空プロセスラインのメイン遮断弁として適した仕様となっています。
【AIによる参考仕様】
・駆動方式：空気作動式・複動型
・接続フランジ規格：JIS VG100 / VF100（呼び径 100）
・シャフトシール構造：成形ベローズシール
・本体主要材質：ステンレス鋼
・シール材質（弁座/ボンネット）：FKM（フッ素ゴム）
・使用圧力範囲：1.3 × 10⁻⁶ Pa 〜 0.15 MPa（abs）
・外部リーク量：1.3 × 10⁻¹⁰ Pa・m³/s 以下
・弁座リーク量：1.3 × 10⁻⁹ Pa・m³/s 以下
・コンダクタンス：350 L/s
・面間寸法（フランジ面〜中心線）：130 mm
・操作空気圧力範囲：0.4 〜 0.6 MPa
・操作ポート接続口径：Rc1/8
・耐熱温度（バルブ本体）：150℃ 以下
・耐熱温度（シリンダ部）：60℃ 以下