中古 アングルバルブ
メーカー名
Vat
型式26432-KA01-0001/0387
年式表記：
仕様:
仕様:
本体価格(税別、送料別)
15,000円
【AIによる装置概要】
本装置は、高真空および超高真空環境におけるガス流量制御やラインの隔離を目的とした空圧駆動式のアルミニウム製アングルバルブです。主に半導体製造装置、各種真空排気システム、研究開発用の真空チャンバーなど、高度な気密性が求められる設備において使用されます。
駆動部には単動の空圧式（ノーマルクローズ）を採用しています。これにより、装置への圧縮エア供給が意図せず停止した場合でも、内蔵スプリングの力でバルブが自動的に閉鎖されるフェイルセーフ機能が働き、真空システムの安全性を確保します。
接続ポートはDN40（ISO-KF 40）フランジ規格に対応しており、ボディ材質には軽量で熱伝導性に優れたアルミニウムが採用されています。また、主要なシール材質にはFKM（フッ素ゴム）が使用されており、1×10^-9 mbar・L/s未満の優れたリークレート性能を実現しています。対応可能な圧力範囲は1×10^-9 mbarの真空域から最大2.5 bar（絶対圧）までと広く、粗引きラインからメインの排気ラインまで、幅広いプロセス条件に適用できる仕様となっています。
【AIによる参考仕様】
シリーズ：シリーズ26（アルミニウム製アングルバルブ）
駆動方式：空圧式（単動・ノーマルクローズ）
フランジ規格：DN 40（ISO-KF 40）
ボディ材質：アルミニウム
シール材質：FKM（フッ素ゴム）
圧力範囲：1×10^-9 mbar ～ 2.5 bar（絶対圧）
リークレート（バルブシート・ボディ）：1×10^-9 mbar・L/s 未満
分子流コンダクタンス：約 45 L/s
許容動作温度（バルブボディ）：最大 150 ℃
許容動作温度（アクチュエータ）：最大 80 ℃
必要圧縮エア圧力：0.4 ～ 0.7 MPa（4 ～ 7 bar）
バルブ開閉時間：約 0.5 秒
本装置は、高真空および超高真空環境におけるガス流量制御やラインの隔離を目的とした空圧駆動式のアルミニウム製アングルバルブです。主に半導体製造装置、各種真空排気システム、研究開発用の真空チャンバーなど、高度な気密性が求められる設備において使用されます。
駆動部には単動の空圧式（ノーマルクローズ）を採用しています。これにより、装置への圧縮エア供給が意図せず停止した場合でも、内蔵スプリングの力でバルブが自動的に閉鎖されるフェイルセーフ機能が働き、真空システムの安全性を確保します。
接続ポートはDN40（ISO-KF 40）フランジ規格に対応しており、ボディ材質には軽量で熱伝導性に優れたアルミニウムが採用されています。また、主要なシール材質にはFKM（フッ素ゴム）が使用されており、1×10^-9 mbar・L/s未満の優れたリークレート性能を実現しています。対応可能な圧力範囲は1×10^-9 mbarの真空域から最大2.5 bar（絶対圧）までと広く、粗引きラインからメインの排気ラインまで、幅広いプロセス条件に適用できる仕様となっています。
【AIによる参考仕様】
シリーズ：シリーズ26（アルミニウム製アングルバルブ）
駆動方式：空圧式（単動・ノーマルクローズ）
フランジ規格：DN 40（ISO-KF 40）
ボディ材質：アルミニウム
シール材質：FKM（フッ素ゴム）
圧力範囲：1×10^-9 mbar ～ 2.5 bar（絶対圧）
リークレート（バルブシート・ボディ）：1×10^-9 mbar・L/s 未満
分子流コンダクタンス：約 45 L/s
許容動作温度（バルブボディ）：最大 150 ℃
許容動作温度（アクチュエータ）：最大 80 ℃
必要圧縮エア圧力：0.4 ～ 0.7 MPa（4 ～ 7 bar）
バルブ開閉時間：約 0.5 秒