中古 アングルバルブ（空圧弁）
メーカー名
Smc
型式XMA-16H0
年式表記：
仕様:
仕様:
本体価格(税別、送料別)
15,000円
【AIによる装置概要】
本装置は、半導体製造装置や真空成膜装置などの真空排気ラインで広く使用される、高真空対応の空気圧操作式L型バルブ（アングルバルブ）です。作動方式は単動（常時閉：NC）タイプとなっており、操作用の空気圧が遮断された際には内部のスプリングの力で自動的に弁が閉じる安全設計となっています。
加熱対応型のボディ構造を採用しており、バルブ本体は最高150℃までの高温環境に対応します。本仕様区分（H0）はヒーター非搭載（なし）モデルですが、ボディ自体にはヒーターや温度センサー、サーマルプロテクタを後から装着するための取付用穴が標準で加工されています。これにより、使用環境に応じて後から加熱仕様へ変更し、反応副生成物の固着や結露を防止する対策が容易に行えます。接ガス部およびベローズには耐食性に優れたステンレス（SUS316L）を採用し、高いクリーン性と優れた耐久性を備えています。
【AIによる参考仕様】
* **フランジサイズ**: KF16（NW16）
* **作動方式**: 単動（常時閉 / NC）
* **使用圧力範囲**: 1.3 × 10⁻⁶ Pa（絶対圧）～ 0.1 MPa
* **弁座漏れ量**: 1.3 × 10⁻¹⁰ Pa・m³/s 以下（常温、He漏れ量）
* **外部漏れ量**: 1.3 × 10⁻¹¹ Pa・m³/s 以下（常温、He漏れ量）
* **コンダクタンス**: 5 L/s（分子流時）
* **使用温度範囲**: バルブ本体 5 ～ 150℃ / アクチュエータ部 5 ～ 60℃
* **操作空気圧力**: 0.4 ～ 0.7 MPa
* **操作ポート接続口径**: M5 × 0.8
* **主要材質**: 接ガス部・ベローズ：ステンレス（SUS316L） / アクチュエータ部：アルミ合金
* **シール材質**: FKM（フッ素ゴム）
* **ヒーター仕様**: ヒーター・センサーなし（加熱対応用取付穴付きボディ）
* **製品質量**: 約0.28 kg
本装置は、半導体製造装置や真空成膜装置などの真空排気ラインで広く使用される、高真空対応の空気圧操作式L型バルブ（アングルバルブ）です。作動方式は単動（常時閉：NC）タイプとなっており、操作用の空気圧が遮断された際には内部のスプリングの力で自動的に弁が閉じる安全設計となっています。
加熱対応型のボディ構造を採用しており、バルブ本体は最高150℃までの高温環境に対応します。本仕様区分（H0）はヒーター非搭載（なし）モデルですが、ボディ自体にはヒーターや温度センサー、サーマルプロテクタを後から装着するための取付用穴が標準で加工されています。これにより、使用環境に応じて後から加熱仕様へ変更し、反応副生成物の固着や結露を防止する対策が容易に行えます。接ガス部およびベローズには耐食性に優れたステンレス（SUS316L）を採用し、高いクリーン性と優れた耐久性を備えています。
【AIによる参考仕様】
* **フランジサイズ**: KF16（NW16）
* **作動方式**: 単動（常時閉 / NC）
* **使用圧力範囲**: 1.3 × 10⁻⁶ Pa（絶対圧）～ 0.1 MPa
* **弁座漏れ量**: 1.3 × 10⁻¹⁰ Pa・m³/s 以下（常温、He漏れ量）
* **外部漏れ量**: 1.3 × 10⁻¹¹ Pa・m³/s 以下（常温、He漏れ量）
* **コンダクタンス**: 5 L/s（分子流時）
* **使用温度範囲**: バルブ本体 5 ～ 150℃ / アクチュエータ部 5 ～ 60℃
* **操作空気圧力**: 0.4 ～ 0.7 MPa
* **操作ポート接続口径**: M5 × 0.8
* **主要材質**: 接ガス部・ベローズ：ステンレス（SUS316L） / アクチュエータ部：アルミ合金
* **シール材質**: FKM（フッ素ゴム）
* **ヒーター仕様**: ヒーター・センサーなし（加熱対応用取付穴付きボディ）
* **製品質量**: 約0.28 kg